本技术属于匀胶机，特别是涉及一种sog匀胶机加液装置。
背景技术：
1、匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度；半导体功率器件工艺流程钝化时需要使用聚酰亚胺胶，该胶可以在硅片金属层表面形成一层钝化膜防止漏电击穿，防潮作用；还可以形成一层表面张力，在减薄时减少碎片；还可以在封装时提高可靠性。该胶分为光敏型和非光敏型。其中光敏型粘度在1500cp-3000cp左右，非光敏型粘度在800cp-1000cp左右。而现有的匀胶机大多是适用于粘度100cp以下的聚酰亚胺胶，现有的匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率。
技术实现思路
1、有鉴于此，本实用新型旨在提出一种sog匀胶机加液装置，以解决现有匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种sog匀胶机加液装置，它包括压力罐、胶瓶、出胶管、空气阀、胶盘和废胶罐，所述胶瓶放置在压力罐内，所述压力罐上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道相连，所述排气口与第一排气管相连，所述出胶管通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管上设置有空气阀和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管相连，所述出胶管下方设置有胶盘，所述胶盘底端开设有废胶管和第二排气管，所述排胶管和废胶管均与废胶罐相连，所述废胶罐下方设置有托盘。
3、更进一步的，所述氮气管道上沿氮气流动方向依次设置有减压阀和压力表。
4、更进一步的，所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶。
5、更进一步的，所述出胶管上设置有抗蚀剂传感器。
6、更进一步的，所述废胶罐上设置有液位显示器和第三排气管。
7、更进一步的，所述托盘上设置有漏液传感器。
8、更进一步的，所述压力罐为不锈钢材质，容量为5l，所述胶瓶容量为500ml。
9、更进一步的，所述氮气管道和出胶管为1/4英寸聚四氟乙烯管，所述出胶管与压力罐之间通过不锈钢卡套连接。
10、更进一步的，所述废胶管为3/8聚四氟乙烯管道，废胶管与废胶罐之间通过不锈钢卡套连接。
11、更进一步的，所述废胶罐的容量为200l。
12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型光敏聚酰亚胺胶瓶外侧设置了压力罐，压力罐中充入气体，使光敏聚酰亚胺胶瓶处于压力环境中，提高光敏聚酰亚胺胶的流动性，同时加大出胶管的管径，满足高粘度聚酰亚胺胶使用要求。通过设置空气阀和排胶球阀改善排胶速度，防止堵胶、漏胶的情况发生。通过设置废胶罐对废胶进行收集，废胶罐可同时收集加工前含有气泡的胶及加工后胶盘内的废胶，定期对废胶罐进行处理即可，不需要人工多次收集，可以实现连续做片的效果，大大提高生产效率，并解决劳动成本。
1.一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：它包括压力罐(4)、胶瓶、出胶管(7)、空气阀(8)、胶盘(10)和废胶罐(13)，所述胶瓶放置在压力罐(4)内，所述压力罐(4)上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道(1)相连，所述排气口与第一排气管(6)相连，所述出胶管(7)通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管(7)上设置有空气阀(8)和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管(9)相连，所述出胶管(7)下方设置有胶盘(10)，所述胶盘(10)底端开设有废胶管(11)和第二排气管(12)，所述排胶管(9)和废胶管(11)均与废胶罐(13)相连，所述废胶罐(13)下方设置有托盘(15)。
2.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述氮气管道(1)上沿氮气流动方向依次设置有减压阀(2)和压力表(3)。
3.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶。
4.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述出胶管(7)上设置有抗蚀剂传感器(5)。
5.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶罐(13)上设置有液位显示器(14)和第三排气管(17)。
6.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述托盘(15)上设置有漏液传感器(16)。
7.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述压力罐(4)为不锈钢材质，容量为5l，所述胶瓶容量为500ml。
8.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述氮气管道(1)和出胶管(7)为1/4英寸聚四氟乙烯管，所述出胶管(7)与压力罐(4)之间通过不锈钢卡套连接。
9.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶管(11)为3/8聚四氟乙烯管道，废胶管(11)与废胶罐(13)之间通过不锈钢卡套连接。
10.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶罐(13)的容量为200l。
