本技术涉及贴片晶振，具体为一种贴片晶振蒸镀装置。
背景技术：
1、贴片晶振来源于多面体石英棒，先被切成闪闪发光的六面体棒，再经过反复的切割和研磨，石英棒最终被做成一堆薄薄的圆片，在对贴片晶振进行加工时，需要进行真空蒸镀加工，真空蒸发镀膜是指在真空条件下，通过蒸发源加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面来获得薄膜的一种技术，被蒸发的物质被称为蒸镀材料。
2、真空蒸镀的通常方法是在单个真空室内设置单个或多个蒸发源以进行真空蒸镀，在共蒸镀中，多个材料的浓度是决定所产生薄膜的性能的重要因素，进行双蒸镀时，经常发生两个蒸发源蒸发温度不同，其中一个材料附着在例如真空室壁上，再加热后再蒸发附着的材料，将有害地影响最终形成的薄膜内的材料浓度，因此，针对上述问题，提出一种贴片晶振蒸镀装置。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种贴片晶振蒸镀装置，以解决同时蒸镀两种蒸镀材料时，蒸发源之间互相影响，影响最终形成薄膜内的材料浓度的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、一种贴片晶振蒸镀装置，包括真空壳体、加热单元和混合腔，所述真空壳体上端固定连接有真空泵，所述真空壳体内部下端固定连接有加热单元，所述加热单元上端设有蒸镀材料，所述真空壳体内部下端设有中空腔，所述中空腔外侧固定连接有加热壁,所述真空壳体内部中端设有混合腔，所述混合腔上端固定连接有第一电机，所述第一电机主轴中端固定连接有螺旋桨叶片，所述混合腔上端固定连接有第二电机，所述第二电机主轴下端固定连接有齿轮，所述混合腔内部上端固定连接有滑动轨道，所述滑动轨道外侧滑动连接有堵塞块，所述堵塞块外侧中端设有齿牙，所述混合腔外侧固定连接有进料管道，所述混合腔下端固定连接有出料管道。
4、优选的，所述进料管道进料口固定连接在中空腔外侧，所述进料管道出料口固定连接在混合腔外侧，所述进料管道的数量共有两个。
5、优选的，所述中空腔的数量共有两个，所述中空腔下端均固定连接有加热单元。
6、优选的，所述混合腔外侧固定连接有加热壁，所述混合腔上端固定连接的第二电机的数量共有两个。
7、优选的，所述加热壁加热的最低温度比蒸镀材料蒸发或升华的温度高。
8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
9、本实用新型中，通过设计的真空壳体、加热单元、中空腔、加热壁和混合腔，进行双蒸镀时，通过独立的中空腔分别对蒸镀材料加热，再将产生的气态粒子送入混合腔中均匀混合，最终从管道中运出在管道口对贴片晶振进行镀膜，避免了两个蒸发源互相影响，使最终形成薄膜的材料比例最优。
1.一种贴片晶振蒸镀装置，包括真空壳体(1)、加热单元(3)和混合腔(7)，其特征在于：所述真空壳体(1)上端固定连接有真空泵(2)，所述真空壳体(1)内部下端固定连接有加热单元(3)，所述加热单元(3)上端设有蒸镀材料(4)，所述真空壳体(1)内部下端设有中空腔(5)，所述中空腔(5)外侧固定连接有加热壁(6),所述真空壳体(1)内部中端设有混合腔(7)，所述混合腔(7)上端固定连接有第一电机(8)，所述第一电机(8)主轴中端固定连接有螺旋桨叶片(9)，所述混合腔(7)上端固定连接有第二电机(10)，所述第二电机(10)主轴下端固定连接有齿轮(11)，所述混合腔(7)内部上端固定连接有滑动轨道(12)，所述滑动轨道(12)外侧滑动连接有堵塞块(13)，所述堵塞块(13)外侧中端设有齿牙(14)，所述混合腔(7)外侧固定连接有进料管道(15)，所述混合腔(7)下端固定连接有出料管道(16)。
2.根据权利要求1所述的一种贴片晶振蒸镀装置，其特征在于：所述进料管道(15)进料口固定连接在中空腔(5)外侧，所述进料管道(15)出料口固定连接在混合腔(7)外侧，所述进料管道(15)的数量共有两个。
3.根据权利要求1所述的一种贴片晶振蒸镀装置，其特征在于：所述中空腔(5)的数量共有两个，所述中空腔(5)下端均固定连接有加热单元(3)。
4.根据权利要求1所述的一种贴片晶振蒸镀装置，其特征在于：所述混合腔(7)外侧固定连接有加热壁(6)，所述混合腔(7)上端固定连接的第二电机(10)的数量共有两个。
5.根据权利要求1所述的一种贴片晶振蒸镀装置，其特征在于：所述加热壁(6)加热的最低温度比蒸镀材料(4)蒸发或升华的温度高。
