本发明涉及液晶平板显示器玻璃基板的生产设备，尤其涉及涂布有光阻剂的平板玻璃基板经烘烤后再进行冷却降温的制冷设备。
背景技术：
1、玻璃基板是平板显示器产业的关键基础材料之一，是表面极其平整、厚度超薄的玻璃。玻璃基板本身性能及品质表现与平板显示的分辨率、成像效果等基础指标紧密关联。随着平板显示器面板分辨率、轻薄化、低能耗等要求越来越高，尤其是手机、平板电脑等移动设备提供更高要求，对玻璃基板的性能要求也越来越高。
2、图形刻蚀是显示器玻璃基板制作的关键工序，它是在导电玻璃上刻蚀出显示器电极图形，该工序阶段主要是在清洁干燥的导电玻璃基板上均匀涂布光阻剂，再在一定温度下将涂布有光阻剂的玻璃基板烘烤一段时间，以使光阻剂中溶剂挥发，增加与玻璃表面粘附性。由于经烘烤后的玻璃基板带有较高烘烤温度，必须降至常温(如23℃)后，才能进行后续的曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工艺而完成电极图形的刻蚀。然而由于玻璃基板是板面大的薄型玻璃平板，对其制冷很容易形成温度不均匀，而这种制冷的不均匀会在基板上因温度梯度引起热应力，导致基板玻璃的开裂和玻碎，降低烘烤成品良率；而缓慢制冷降温又会成为整个基板生产流水线上的卡脖工序，严重制约着整个流水线生产效率的提高。
3、目前，玻璃基板生产过程中的制冷装置，是将经烘烤的导电玻璃基板移至一板面稍大于玻璃基板的制冷金属板上，该制冷金属板内设有流动的冷水腔，以通过制冷金属板对高温的玻璃基板进行降温冷却。为了减少降温过程产生的温度应力，玻璃基板并不是直接搁置于制冷金属板上，而是与制冷金属保持一定间隔距离，这种结构虽然可以减少不均衡玻板温度应力和玻璃静电荷的产生，但制冷源不与玻璃基板直接接触显然会影响热量的传递，不仅会降低玻璃基板与制冷板间的热传导速度，直接制约流水线的生产效率，而且还容易在玻璃基板的板面上形成降温梯度，增加制冷玻板的损坏率。
技术实现思路
1、针对现有技术所存在的上述不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种能够对玻璃基板进行快速、均衡降温的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备。
2、为了解决上述技术问题，本发明的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，包括机架，以及安装于机架上的制冷单元，所述制冷单元包括可移动地支承于机架上的制冷板座，在制冷板座上固定支承有制冷板，所述制冷板的板内设置有冷却水道，该制冷板的板面覆有冷板护层；所述制冷板的上板面安装有若干玻板托钉，制冷板的下板面密封地安装有若干负压抽吸罩；在所述制冷板上沿板厚方向设置有若干抽吸孔，所述抽吸孔通向对应的负压抽吸罩的抽吸腔，负压抽吸罩的抽吸腔连通至抽风机。
3、在上述的技术方案中，由于在制冷板的板内设置有冷水孔道，冷水孔道中流动的冷却水具有热容量大、吸热快、制冷能力强的特点，能够形成稳定的低温温度场；在制冷板的板面覆有冷板护层，既可以具有防静电的功效，避免静电对玻璃基板造成的危害，又可以具有防腐等防护作用。又由于在制冷板的板面安装有玻板托钉，冷却玻璃基板被搁置于玻板托钉上进行冷却，而非与制冷板直接贴合，使得玻璃基板处于制冷空间中，这样能够避免制冷板对玻璃基板直接贴合降温而形成的具有破坏作用的温度梯度，既提高了整块玻璃基板制冷降温的一致性和均匀性，又能有效避免在玻璃基板上产生静电而引起的基板玻璃破损。更由于在制冷板的下板面密封地安装有若干负压抽吸罩，制冷板上的抽吸孔经负压抽吸罩抽吸腔通向抽风机，这样就可以在玻璃基板和制冷板之间产生流动的降温气流，形成冷风与玻璃基板的板面直接接触，在玻璃基板和制冷板之间既存在热传导、热辐射，也存在热对流，大大提高了热传递效率，使得玻璃基板的降温速度更快；同时这种具有冷风气流制冷降温方式，还形成了均匀稳定的制冷气流场，使得热传递更加均衡，有效避免在玻璃基板上形成温度梯度和静电荷的产生，特别有利于具有薄形、大板面的玻璃基板的快速降温。也由于安装有制冷板的制冷板座是可移动地支承于机架上的，因而制冷板座及其上的制冷板可以平移至机架框的外侧，以获得更大的更新维护和板体清洁操作空间，保证制冷板及制冷腔室的洁净和正常工作，提高维护修理效率。
4、本发明进一步实施方式，所述制冷板座通过滑轨移动支承于机架的机架横梁上；每一所述制冷单元对应有一机架侧门和机架前门，所述机架侧门和机架前门设置于机架上。便于玻璃基板的输入和移出。
5、本发明优选实施方式，所述制冷板的上板面和/或下板面涂覆有冷板护层。所述冷板护层为防静电涂料涂层或石墨烯导电薄膜或石墨烯基防静电料涂层。具有更好的防静电效果，能有效避免静电造成的危害。
6、本发明优选实施方式，所述制冷板的下板面密封地安装有2-6组负压抽吸罩；同一组负压抽吸罩的抽吸腔相互并接而连通至同一负压汇集管上；负压汇集管经对应的气路阀门通向抽风机。所述负压抽吸罩的端口周边与制冷板的板面之间嵌装有密封件，负压抽吸罩和制冷板围成抽吸腔；设置于制冷板上的抽吸孔通过对应的抽吸腔连通至对应负压抽吸罩上的抽吸管，该抽吸管通过负压汇集管和气路阀门连通至抽风机。所述气路阀门为电动气阀或电磁气阀；所述抽风机为离心风机或轴流风机。能形成分区域控制的制冷降温区域，能够更好地调整控制玻璃基板表面各部的温度和降温速度。
7、本发明优选实施方式，所述制冷板上的冷却水道包括有5-15道相互独立的水道，每一水道均包括有一进水端口和一出水端口。所述制冷板为带有若干道冷却水道的金属板；所述冷却水道通过水路回转块曲折回转地设置于制冷板的板体内，该制冷板通过制冷板支脚固定安装于制冷板座。在制冷板上形成可调节控制的制冷区域，更便于对温度和降温速度进行调节管理。
8、本发明的进一步实施方式，所述制冷板板面上的玻板托钉顶部高出制冷板的板面0.3mm—0.5mm。使玻璃基板与制冷板之间形成狭隙，保护玻璃基板降温的一致性、均衡性，避免在玻璃基板上产生温度应力和静电荷而引起的基板玻璃破损开裂。
1.一种显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，包括机架(1)，以及安装于机架(1)上的制冷单元(4)，其特征在于：所述制冷单元(4)包括可移动地支承于机架(1)上的制冷板座(9)，在制冷板座(9)上固定支承有制冷板(8)，所述制冷板(8)的板内设置有冷却水道(12)，该制冷板(8)的板面覆有冷板护层(22)；所述制冷板(8)的上板面安装有若干玻板托钉(7)，制冷板(8)的下板面密封地安装有若干负压抽吸罩(18)；在所述制冷板(8)上沿板厚方向设置有若干抽吸孔(21)，所述抽吸孔(21)通向对应的负压抽吸罩(18)的抽吸腔，负压抽吸罩(18)的抽吸腔连通至抽风机(16)。
2.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板座(9)通过滑轨(5)移动支承于机架(1)的机架横梁(6)上；每一所述制冷单元(4)对应有一机架侧门(2)和机架前门(3)，所述机架侧门(2)和机架前门(3)设置于机架(1)上。
3.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板(8)的上板面和/或下板面涂覆有冷板护层(22)。
4.根据权利要求1、2或3所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述冷板护层(22)为防静电涂料涂层或石墨烯导电薄膜或石墨烯基防静电料涂层。
5.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板(8)的下板面密封地安装有2-6组负压抽吸罩(18)；同一组负压抽吸罩(18)的抽吸腔相互并接而连通至同一负压汇集管(20)上；负压汇集管(20)经对应的气路阀门(17)通向抽风机(16)。
6.根据权利要求5所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述负压抽吸罩(18)的端口周边与制冷板(8)的板面之间嵌装有密封件(24)，负压抽吸罩(18)和制冷板(8)围成抽吸腔；设置于制冷板(8)上的抽吸孔(21)通过对应的抽吸腔连通至对应负压抽吸罩(18)上的抽吸管(19)，该抽吸管(19)通过负压汇集管(20)和气路阀门(17)连通至抽风机(16)。
7.根据权利要求1、5或6所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述气路阀门(17)为电动气阀或电磁气阀；所述抽风机(16)为离心风机或轴流风机。
8.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板(8)上的冷却水道(12)包括有5-15道相互独立的水道，每一水道均包括有一进水端口和一出水端口。
9.根据权利要求1或8所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板(8)为带有若干道冷却水道(12)的金属板；所述冷却水道(12)通过水路回转块(11)曲折回转地设置于制冷板(8)的板体内，该制冷板(8)通过制冷板支脚(13)固定安装于制冷板座(9)。
10.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板负压式快速冷却设备，其特征在于：所述制冷板(8)板面上的玻板托钉(7)顶部高出制冷板(8)的板面0.3mm—0.5mm。
