本技术涉及清洗，具体是一种圆形卡盘清洗装置。
背景技术：
1、圆形卡盘主要作用是夹住工件，保证其稳定性，使得加工精度和质量得到保证，卡盘的夹紧力大小可以进行调整，以适应不同形状和大小的工件，卡盘可以带动工件一起旋转，这样可以避免因为工件在加工中的旋转而导致的加工偏差和误差，在硬脆性材料减薄机中，晶圆吸附在卡盘上，磨削过程中产生的粉尘太多会堵塞卡盘上的孔，影响卡盘对晶圆的吸附力，需要对卡盘进行清洗，但是现有的卡盘的形状大多数都为圆形，在对其进行清洗时，由于不好固定，容易使其位置造成偏移，使清洗的难度加大。
2、经过检索，公开号为cn 214976089 u的中国专利公开的一种圆形卡盘清洗装置，其技术要点在于：包括机架，机架的侧部左右两端分设有左水平气缸和右水平气缸，左水平气缸的活塞杆与左竖直气缸相连，左竖直气缸活塞杆连接电机安装架，电机安装架上设有电机，电机轴连接毛刷；右水平气缸活塞杆与右竖直气缸相连，右竖直气缸活塞杆上连接清洗喷头机架，分流块和清洗水喷头设于清洗喷头机架上，本实用新型所设计的圆形卡盘清洗装置中清洗水喷头可在右水平气缸和右竖直气缸的驱动下沿上、下、左、右四个方向运动至指定位置，清洗水喷头喷出水雾清洗工件，清洗结束后，清洗水喷头运动至初始位置。
3、上述方案中解决了在硬脆性材料减薄机中，晶圆吸附在卡盘上，磨削过程中产生的粉尘太多会堵塞卡盘上的孔，影响卡盘对晶圆的吸附力的问题，但是现有的卡盘的形状大多数都为圆形，在对其进行清洗时，由于不好固定，容易使其位置造成偏移，使清洗的难度加大。为此，我们提供了圆形卡盘清洗装置解决以上问题。
技术实现思路
1、一）解决的技术问题
2、本实用新型的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种圆形卡盘清洗装置。
3、二）技术方案
4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种圆形卡盘清洗装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有支板，所述支板的外表面固定连接有顶板，所述底板的底面固定连接有电机一，所述电机一的输出轴端固定连接有旋转杆一，所述旋转杆一的外表面转动贯穿底板的内部，所述旋转杆一的顶端固定连接有旋转盘，所述旋转盘的上表面固定连接有齿盘，所述齿盘的外表面啮合有齿轮，所述齿轮的上表面转动连接有固定杆，所述固定杆的顶端固定连接有固定板，所述固定板的外表面与底板的上表面固定连接，所述齿轮的外表面啮合有齿板，所述齿板的一端固定连接有夹紧环，所述夹紧环的外表面固定连接有海绵条，所述齿板的外表面滑动连接有长板，所述长板的底面与底板的上表面固定连接，所述底板的上表面固定连接有固定架，所述固定架的底面固定连接有放置板。
5、进一步的，所述顶板的上表面固定连接有电机二，所述电机二的输出轴端固定连接有旋转杆二，所述旋转杆二的外表面转动贯穿顶板的内部，所述旋转杆二的底端固定连接有伸缩杆。
6、进一步的，所述伸缩杆的底端固定连接有清理盘，所述清理盘的底面固定连接有清理刷。
7、进一步的，所述齿轮、齿板、长板，各共有三个，均匀分布在底板的上方。
8、进一步的，所述旋转盘的底面固定连接有空心环，所述底板的底面开设有限位圆槽，所述空心环的外表面与限位圆槽的内壁滑动连接。
9、进一步的，所述长板的外表面开设有限位槽，所述齿板的外表面固定连接有限位条，所述限位条与限位槽的内壁滑动连接。
10、进一步的，所述底板的底面固定连接有支杆，所述支杆的底端固定连接有万向轮。
11、三）有益效果：
12、与现有技术相比，该圆形卡盘清洗装置具备如下有益效果：
13、一、本实用新型通过电机一、旋转杆一、旋转盘、齿盘、齿轮和长板之间的配合，启动电机一，电机一通过旋转杆一带动旋转盘转动，旋转盘带动齿盘转动，齿盘带动齿轮旋转，齿轮带动齿板移动，使三个齿板同时向里移动，将会夹紧卡盘，解决了现有的卡盘的形状大多数都为圆形，在对其进行清洗时，由于不好固定，容易使其位置造成偏移，使清洗难度加大的问题。
14、二、本实用新型通过顶板、伸缩杆、清理盘和清理刷之间的配合，将卡盘夹紧之后，启动伸缩杆，伸缩杆带动清理盘上的清理刷靠近卡盘，再启动电机二，使清理刷对卡盘进行清理，解决了磨削过程中产生的粉尘太多会堵塞卡盘上的孔，影响卡盘的使用的问题。
1.一种圆形卡盘清洗装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的上表面固定连接有支板（2），所述支板（2）的外表面固定连接有顶板（3），所述底板（1）的底面固定连接有电机一（4），所述电机一（4）的输出轴端固定连接有旋转杆一（5），所述旋转杆一（5）的外表面转动贯穿底板（1）的内部，所述旋转杆一（5）的顶端固定连接有旋转盘（6），所述旋转盘（6）的上表面固定连接有齿盘（7），所述齿盘（7）的外表面啮合有齿轮（8），所述齿轮（8）的上表面转动连接有固定杆（9），所述固定杆（9）的顶端固定连接有固定板（10），所述固定板（10）的外表面与底板（1）的上表面固定连接，所述齿轮（8）的外表面啮合有齿板（11），所述齿板（11）的一端固定连接有夹紧环（12），所述夹紧环（12）的外表面固定连接有海绵条（13），所述齿板（11）的外表面滑动连接有长板（14），所述长板（14）的底面与底板（1）的上表面固定连接，所述底板（1）的上表面固定连接有固定架（26），所述固定架（26）的底面固定连接有放置板（27）。
2.根据权利要求1所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述顶板（3）的上表面固定连接有电机二（15），所述电机二（15）的输出轴端固定连接有旋转杆二（16），所述旋转杆二（16）的外表面转动贯穿顶板（3）的内部，所述旋转杆二（16）的底端固定连接有伸缩杆（17）。
3.根据权利要求2所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述伸缩杆（17）的底端固定连接有清理盘（18），所述清理盘（18）的底面固定连接有清理刷（19）。
4.根据权利要求1所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述齿轮（8）、齿板（11）、长板（14），各共有三个，均匀分布在底板（1）的上方。
5.根据权利要求1所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述旋转盘（6）的底面固定连接有空心环（20），所述底板（1）的底面开设有限位圆槽（21），所述空心环（20）的外表面与限位圆槽（21）的内壁滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述长板（14）的外表面开设有限位槽（22），所述齿板（11）的外表面固定连接有限位条（23），所述限位条（23）与限位槽（22）的内壁滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种圆形卡盘清洗装置，其特征在于：所述底板（1）的底面固定连接有支杆（24），所述支杆（24）的底端固定连接有万向轮（25）。
