本技术涉及真空镀膜，特别是指一种管外壁均匀镀膜的工件固定装置。
背景技术：
1、在使用柱靶进行磁控溅射管内壁镀膜时，可对内径在一定范围内变化，长度不超过柱靶磁场长度的管工件内壁镀膜。但若需要对已完成内壁镀膜的管工件外壁再次镀膜时，常见的方法是电镀或者气相沉积，且需要一套柱靶之外的镀膜装置。
2、现有装置带来以下技术问题：1、需采用不同的装置完成内外壁镀膜，操作过程复杂；2、镀膜装置投入大，经济性不好。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种管外壁均匀镀膜的工件固定装置。解决现有技术中，不能使用柱靶直接完成管内壁及管外壁镀膜的问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：
3、一种管外壁均匀镀膜的工件固定装置，包括：
4、自动旋转管工件装置；
5、与自动旋转管工件装置平行的柱靶溅射装置；
6、所述柱靶溅射装置均匀喷涂所述自动旋转管工件装置。
7、可选的，所述自动旋转管工件装置，包括：
8、样品台固定法兰；
9、与所述样品台固定法兰固定连接的c形支撑板；
10、与所述c形支撑板上端固定连接的轴承；
11、与所述轴承滑动连接的管工件组件；
12、在所述管工件组件下端安装第一链轮；
13、与所述第一链轮传动连接的转动工件；所述转动工件转动传递至第一链轮。
14、可选的，所述转动工件，包括：
15、联轴器；
16、分别与所述联轴器固定连接的驱动轴和加长轴；
17、与所述加长轴的上端固定连接的第二链轮；
18、与所述第二链轮固定连接的链条。
19、可选的，所述管工件组件，包括：
20、支撑轴；
21、轴体；所述轴体上端设置有外螺纹；所述轴体下端设置有凸台和外螺纹；
22、与所述轴体上端螺纹连接的工件压紧片；
23、与所述轴体下端卡扣连接的管工件；所述管工件套在所述轴体外。
24、可选的，所述轴承与所述管工件组件的支撑轴固定连接。
25、可选的，所述柱靶溅射装置，包括：
26、固定在真空室顶端的夹具固定工件；
27、与夹具固定工件固定连接的柱靶工件。
28、可选的，所述夹具固定工件，包括：
29、夹具固定盘；
30、与所述夹具固定盘固定连接的夹具；
31、设置在所述夹具上的第一螺栓。
32、可选的，所述柱靶工件包括：
33、套筒；
34、与所述套筒接触连接的靶材；
35、与所述靶材固定连接的卡箍。
36、可选的，所述套筒内置磁钢和冷却水道。
37、可选的，还包括：驱动所述转动工件的驱动轴。
38、本实用新型的上述方案至少包括以下有益效果：
39、本实用新型的上述方案，包括：自动旋转管工件装置；与自动旋转管工件装置平行的柱靶溅射装置；所述柱靶溅射装置均匀喷涂所述自动旋转管工件装置。实现了无需采用其他工艺设备即可在柱靶上完成管内壁及管外壁镀膜，有效降低成本的目的。
1.一种管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述自动旋转管工件装置，包括：
3.根据权利要求2所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述转动工件，包括：
4.根据权利要求2所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述管工件组件(17)，包括：
5.根据权利要求2所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述轴承(12)与所述管工件组件(17)通过支撑轴(20)固定连接。
6.根据权利要求1所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述柱靶溅射装置，包括：
7.根据权利要求6所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述夹具固定工件，包括：
8.根据权利要求6所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述柱靶工件包括：
9.根据权利要求8所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，所述套筒(5)内置磁钢和冷却水道。
10.根据权利要求2所述的管外壁均匀镀膜的工件固定装置，其特征在于，还包括：驱动所述转动工件的驱动轴(8)。
