本技术涉及测试，具体涉及一种测试电路。
背景技术：
1、半导体专用温控设备，应用在集成电路制造的工艺过程中，通过提供恒定温度的循环液体将工艺制程中产生的热量带走，实现集成电路制造过程中工艺腔体的温度精准控制，在应用的过程中半导体专用温控设备需要实时的与主工艺设备进行数据交互，接收主工艺设备传送的指令，同时反馈主工艺设备需要的运行状态及数值。
2、为了保证主工艺设备与温控设备之间的通讯顺畅，需要在生产调试的过程中对温控设备进行通讯的模拟测试，来判断温控设备的通讯是否正常以及是否能够满足主工艺设备的通讯要求。
3、目前半导体专用温控设备通讯模拟测试过程中，模拟量输入信号测试是对温控设备输入不同的电压信号，利用万用表测量不同电压信号的具体数值，根据量程内电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致，若不同电压下显示温度值与约定温度值均一致，则确定温控设备的温度输入信号通道的通讯正常，但这种方法利用万用表测量不同电压信号的具体数值，测试过程极其不便，且测试效率和准确率较低。
技术实现思路
1、本技术实施例提供一种测试电路，用以解决目前半导体专用温控设备通讯模拟测试过程中，利用万用表测量不同电压信号的具体数值，测试过程极其不便，且测试效率和准确率较低的技术问题。
2、本技术实施例提供一种测试电路，包括：多引脚插头和模拟量输入信号测试模块；
3、所述模拟量输入信号测试模块包括第一子模块和第二子模块；
4、所述第一子模块包括第一电源和第一电位器；
5、所述第一电位器的第一固定端与所述第一电源相连接，所述第一电位器的第二固定端接地，所述第一电位器的触点端与所述多引脚插头的第一引脚相连接；
6、所述多引脚插头的第二引脚与所述第一电位器的第二固定端相连接；
7、所述第二子模块包括第二电源和第二电位器；
8、所述第二电位器的第一固定端与所述第二电源相连接，所述第二电位器的第二固定端接地，所述第二电位器的触点端与所述多引脚插头的第十四引脚相连接；
9、所述多引脚插头的第十五引脚与所述第二电位器的第二固定端相连接。
10、在一个实施例中，还包括：开关量输入信号测试模块；
11、所述开关量输入信号测试模块包括第三子模块和第四子模块；
12、所述第三子模块包括第三电源和第一控制按钮；
13、所述第一控制按钮的一端与所述第三电源相连接，所述第一控制按钮的另一端与所述多引脚插头的第三引脚相连接；
14、所述第四子模块包括第四电源和第二控制按钮；
15、所述第二控制按钮的一端与所述第四电源相连接，所述第二控制按钮的另一端与所述多引脚插头的第十六引脚相连接。
16、在一个实施例中，还包括：模拟量输出信号测试模块；
17、所述模拟量输出信号测试模块包括显示表头和拨码开关；
18、所述显示表头的第一端接地，所述拨码开关包括第一电路通道和第二电路通道；
19、所述第一电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第一电路通道的另一端与所述多引脚插头的第四引脚相连接，形成第一温度输出信号测试电路；
20、所述第二电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第二电路通道的另一端与所述多引脚插头的第十七引脚相连接，形成第二温度输出信号测试电路。
21、在一个实施例中，所述拨码开关还包括第三电路通道和第四电路通道；
22、所述第三电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第三电路通道的另一端与所述多引脚插头的第五引脚相连接，形成第一压力输出信号测试电路；
23、所述第四电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第四电路通道的另一端与所述多引脚插头的第十八引脚相连接，形成第二压力输出信号测试电路。
24、在一个实施例中，所述拨码开关还包括第五电路通道和第六电路通道；
25、所述第五电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第五电路通道的另一端与所述多引脚插头的第六引脚相连接，形成第一流量输出信号测试电路；
26、所述第六电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第六电路通道的另一端与所述多引脚插头的第十九引脚相连接，形成第二流量输出信号测试电路。
27、在一个实施例中，所述拨码开关还包括第七电路通道和第八电路通道；
28、所述第七电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第七电路通道的另一端与所述多引脚插头的第七引脚相连接，形成第一阻抗输出信号测试电路；
29、所述第八电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述第八电路通道的另一端与所述多引脚插头的第二十引脚相连接，形成第二阻抗输出信号测试电路。
30、在一个实施例中，还包括：开关量输出信号测试模块；
31、所述开关量输出信号测试模块包括第一电阻、第二电阻、第一发光二极管和第二发光二极管；
32、所述第一电阻的一端与所述多引脚插头的第八引脚相连接，所述第一电阻的另一端与所述第一发光二极管的正极相连接，所述第一发光二极管的负极接地，形成第一启停输出信号测试电路；
33、所述第二电阻的一端与所述多引脚插头的第二十一引脚相连接，所述第二电阻的另一端与所述第二发光二极管的正极相连接，所述第二发光二极管的负极接地，形成第二启停输出信号测试电路。
34、在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第三电阻、第四电阻、第三发光二极管和第四发光二极管；
35、所述第三电阻的一端与所述多引脚插头的第九引脚相连接，所述第三电阻的另一端与所述第三发光二极管的正极相连接，所述第三发光二极管的负极接地，形成第一远程与本地输出信号测试电路；
36、所述第四电阻的一端与所述多引脚插头的第二十二引脚相连接，所述第四电阻的另一端与所述第四发光二极管的正极相连接，所述第四发光二极管的负极接地，形成第二远程与本地输出信号测试电路。
37、在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第五发光二极管、第六发光二极管、第七发光二极管和第八发光二极管；
38、所述第五电阻的一端与所述多引脚插头的第十引脚相连接，所述第五电阻的另一端与所述第五发光二极管的正极相连接，所述第五发光二极管的负极接地，形成第一提示报警输出信号测试电路；
39、所述第六电阻的一端与所述多引脚插头的第二十三引脚相连接，所述第六电阻的另一端与所述第六发光二极管的正极相连接，所述第六发光二极管的负极接地，形成第二提示报警输出信号测试电路；
40、所述第七电阻的一端与所述多引脚插头的第十一引脚相连接，所述第七电阻的另一端与所述第七发光二极管的正极相连接，所述第七发光二极管的负极接地，形成第一故障报警输出信号测试电路；
41、所述第八电阻的一端与所述多引脚插头的第二十四引脚相连接，所述第八电阻的另一端与所述第八发光二极管的正极相连接，所述第八发光二极管的负极接地，形成第二故障报警输出信号测试电路。
42、在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第九电阻、第十电阻、第九发光二极管和第十发光二极管；
43、所述第九电阻的一端与所述多引脚插头的第十二引脚相连接，所述第九电阻的另一端与所述第九发光二极管的正极相连接，所述第九发光二极管的负极接地，形成第一液位状态输出信号测试电路；
44、所述第十电阻的一端与所述多引脚插头的第二十五引脚相连接，所述第十电阻的另一端与所述第十发光二极管的正极相连接，所述第十发光二极管的负极接地，形成第二液位状态输出信号测试电路。
45、本技术提供的测试电路，包括多引脚插头和模拟量输入信号测试模块，模拟量输入信号测试模块包括第一子模块和第二子模块，第一子模块包括第一电源和第一电位器，第一电位器的第一固定端与第一电源相连接，第一电位器的第二固定端接地，第一电位器的触点端与多引脚插头的第一引脚相连接，多引脚插头的第二引脚与第一电位器的第二固定端相连接；第二子模块包括第二电源和第二电位器，第二电位器的第一固定端与第二电源相连接，第二电位器的第二固定端接地，第二电位器的触点端与多引脚插头的第十四引脚相连接，多引脚插头的第十五引脚与第二电位器的第二固定端相连接。当需要对温控设备进行模拟量输入信号测试时，可将该多引脚插头连接至待测的温控设备，通过移动第一电位器的触点端，不断改变第一电源通过该多引脚插头输入至该温控设备的电压值，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致，若不同电压下显示温度值与约定温度值均一致，则确定温控设备的第一条温度输入信号通道的通讯正常；或通过移动第二电位器的触点端，不断改变第二电源通过该多引脚插头输入至该温控设备的电压值，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致，若不同电压下显示温度值与约定温度值均一致，则确定温控设备的第二条温度输入信号通道的通讯正常。由于采用了电位器，可以根据第一电位器的触点端距离两个固定端之间的距离和第一电源的额定电压实时计算出当前输入温控设备的电压值，同理根据第二电位器的触点端距离两个固定端之间的距离和第二电源的额定电压实时计算出当前输入温控设备的电压值，不再需要使用万用表进行电压测量，实现了温控设备温度输入信号的便捷测试，提高了测试效率和准确率，且通过使用两个子模块，能够同时对两条温度输入信号通道的通讯进行测试，进一步提高测试效率。
1.一种测试电路，其特征在于，包括：多引脚插头和模拟量输入信号测试模块；
2.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，还包括：开关量输入信号测试模块；
3.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，还包括：模拟量输出信号测试模块；
4.根据权利要求3所述的测试电路，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的测试电路，其特征在于，
6.根据权利要求3所述的测试电路，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，还包括：开关量输出信号测试模块；
8.根据权利要求7所述的测试电路，其特征在于，
9.根据权利要求7所述的测试电路，其特征在于，
10.根据权利要求7所述的测试电路，其特征在于，
