本技术涉及半导体真空，特别是涉及一种张紧机构及半导体真空设备。
背景技术：
1、现有的半导体真空设备的从动轮固定在轴承箱上，驱动轮及电机通过一固定板安装在固定支架上；在同步带实现张紧后，需要采用螺栓对固定板的安装位置进行固定压紧，并利用顶丝限位顶紧，导致当需要检查轴承箱底部箱体里面情况时，需要松开顶紧顶丝及固定螺栓，松开轴承箱螺栓；检查完毕需要固定轴承箱螺栓，再次调节固定板的位置，张紧同步带，压紧螺栓，顶丝顶紧固定板，而且螺栓工件螺纹反复拆卸影响螺牙的使用寿命。这种方式比较费时费力，增加了设备的使用成本。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是：现有技术中的张紧方式费时费力，且反复拆卸影响螺牙的使用寿命，增加了设备的使用成本。
2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种张紧机构，设置于固定支架，所述张紧机构包括驱动组件、滑动组件以及推拉式夹钳；
3、所述滑动组件安装于所述固定支架并沿第一方向延伸，所述驱动组件安装于所述滑动组件，所述驱动组件具有与驱动轮连接的输出端，所述推拉式夹钳安装于所述固定支架，且与所述驱动组件连接，以带动所述驱动组件沿所述第一方向移动，并带动所述驱动轮远离或靠近与所述驱动轮传动连接的从动轮。
4、在一些实施例中，所述滑动组件包括两组导轨，两组所述导轨相对设置于所述固定支架的两侧，所述驱动组件滑动安装于所述导轨。
5、在一些实施例中，所述滑动组件还包括滑块，每组所述导轨均设置有滑块，所述滑块滑动安装于对应的所述导轨，且所述滑块远离所述导轨的一侧与所述驱动组件连接。
6、在一些实施例中，所述滑动组件还包括多个限位块，每组所述导轨的相对两端均设置有所述限位块。
7、在一些实施例中，所述驱动组件包括驱动件以及第一安装板，所述第一安装板安装于所述滑动组件，所述驱动件安装于所述第一安装板，所述驱动件的输出轴与所述驱动轮连接。
8、在一些实施例中，所述第一安装板包括底板以及连接板，所述驱动件与所述连接板均安装于所述底板，所述连接板与所述底板垂直设置，所述推拉式夹钳与所述连接板连接。
9、在一些实施例中，还包括第二安装板，所述第二安装板安装于所述固定支架，所述推拉式夹钳安装于所述第二安装板。
10、在一些实施例中，所述推拉式夹钳包括底座、推杆、拉杆以及连接杆，所述底座具有安装部，所述拉杆与所述底座铰接形成第一铰接轴，所述连接杆的一端与所述拉杆铰接形成第二铰接轴，所述第一铰接轴与所述第二铰接轴平行且间隔布置，所述连接杆的另一端与所述推杆的一端铰接，所述推杆的另一端与所述安装部滑动连接，以通过转动拉杆带动所述推杆沿所述第一方向往复移动，所述推杆与所述驱动组件连接。
11、在一些实施例中，所述推拉式夹钳还包括螺接件，所述螺接件与所述推杆螺接，且所述驱动组件通过所述螺接件与所述推杆连接。
12、还提供了一种半导体真空设备，包括轴承箱、固定支架从动轮、驱动轮、同步带以及如上述所述的张紧机构，所述驱动轮安装于所述驱动组件的输出端，且所述驱动组件通过滑动组件安装于所述固定支架，所述从动轮安装于所述轴承箱，所述从动轮与所述驱动轮之间通过同步带联动，所述推拉式夹钳安装于所述固定支架，且与所述驱动组件连接。
13、本实用新型实施例一种张紧机构与现有技术相比，其有益效果在于：
14、当将推拉式夹钳推出时，其带动驱动组件沿着滑动组件运动，并朝从动轮靠近，即可实现从动轮与驱动轮之间传动的松动，反之将推拉式夹钳拉回时，其带动驱动组件沿着滑动组件运动，并远离从动轮，即可实现两者之间传动的张紧，两种状态间实现快速切换，无需如现有技术中反复拆卸影响螺牙的使用寿命，通过上述的调节方式，降低了设备的使用成本。
1.一种张紧机构，设置于固定支架，其特征在于，所述张紧机构包括驱动组件、滑动组件以及推拉式夹钳；
2.根据权利要求1所述的张紧机构，其特征在于，所述滑动组件包括两组导轨，两组所述导轨相对设置于所述固定支架的两侧，所述驱动组件滑动安装于所述导轨。
3.根据权利要求2所述的张紧机构，其特征在于，所述滑动组件还包括滑块，每组所述导轨均设置有滑块，所述滑块滑动安装于对应的所述导轨，且所述滑块远离所述导轨的一侧与所述驱动组件连接。
4.根据权利要求2所述的张紧机构，其特征在于，所述滑动组件还包括多个限位块，每组所述导轨的相对两端均设置有所述限位块。
5.根据权利要求1所述的张紧机构，其特征在于，所述驱动组件包括驱动件以及第一安装板，所述第一安装板安装于所述滑动组件，所述驱动件安装于所述第一安装板，所述驱动件的输出轴与所述驱动轮连接。
6.根据权利要求5所述的张紧机构，其特征在于，所述第一安装板包括底板以及连接板，所述驱动件与所述连接板均安装于所述底板，所述连接板与所述底板垂直设置，所述推拉式夹钳与所述连接板连接。
7.根据权利要求1所述的张紧机构，其特征在于，还包括第二安装板，所述第二安装板安装于所述固定支架，所述推拉式夹钳安装于所述第二安装板。
8.根据权利要求1所述的张紧机构，其特征在于，所述推拉式夹钳包括底座、推杆、拉杆以及连接杆，所述底座具有安装部，所述拉杆与所述底座铰接形成第一铰接轴，所述连接杆的一端与所述拉杆铰接形成第二铰接轴，所述第一铰接轴与所述第二铰接轴平行且间隔布置，所述连接杆的另一端与所述推杆的一端铰接，所述推杆的另一端与所述安装部滑动连接，以通过转动拉杆带动所述推杆沿所述第一方向往复移动，所述推杆与所述驱动组件连接。
9.根据权利要求8所述的张紧机构，其特征在于，所述推拉式夹钳还包括螺接件，所述螺接件与所述推杆螺接，且所述驱动组件通过所述螺接件与所述推杆连接。
10.一种半导体真空设备，其特征在于，包括轴承箱、固定支架从动轮、驱动轮、同步带以及如权利要求1-9任意一项中所述的张紧机构，所述驱动轮安装于所述驱动组件的输出端，且所述驱动组件通过滑动组件安装于所述固定支架，所述从动轮安装于所述轴承箱，所述从动轮与所述驱动轮之间通过同步带联动，所述推拉式夹钳安装于所述固定支架，且与所述驱动组件连接。
