一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台的制作方法

专利检索2025-01-29  35


本发明属于射频读写台领域,具体为一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台。


背景技术:

1、前开式晶圆传送盒,也叫foup,是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,它在半导体生产过程中自动化传送系统重要的传载容器,每个foup都有各种连接板,销和孔,以便foup位于装载端口上,并由自动化传送系统操纵。

2、foup上包含有rfid电子标签,通过工人使用各种识别工具识别rfid电子标签的内容,来识别foup及内部晶圆的信息。而foup中rfid电子标签的初始化信息写入则需要专业的设备进行操作,其要求也非常严格,需要信息读取具有非常高的准确性,设备工业等级高,长持续运行的稳定性和用户交互界面的简洁性。

3、公开号为cn216053071u的专利公开了一种foup射频读写台,其中rfid读取设备虽可以满足对rfid电子标签的读写,但仍然不能满足智能工厂中的需求,无法精准的解析foup类型。因此我们提出一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,来解决上述中遇到的问题。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本发明目的是提供一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现:一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,包括读写台外壳、定位器、射频收发模块、触摸显示屏、主板、信息控制处理模块、调制解调模块和晶圆盒,所述晶圆盒的底部开设有定位槽,所述晶圆盒上设置有玻璃管标签;

3、所述读写台外壳的一侧设置有斜面并其表面固定连接有触摸显示屏,所述读写台外壳的表面设置有射频收发模块,所述读写台外壳的表面固定连接有定位器,所述读写台外壳的内壁固定连接有安装板,所述安装板上固定连接有微动开关,所述微动开关的活动端延伸至读写台外壳上,所述触摸显示屏和微动开关均与信息控制处理模块电连接;

4、所述读写台外壳的内壁固定连接有主板,所述主板包括信息控制处理模块和调制解调模块,所述信息控制处理模块通过检测微动开关的状态判断晶圆盒的类型,且会使信息控制处理模块激活射频收发模块通过调制解调模块读取晶圆盒上玻璃管标签的信息并解码,送至信息控制处理模块进行有关数据处理,再将信息反馈给触摸显示屏。

5、作为优选的,所述读写台外壳的表面固定连接有限位条。

6、作为优选的,所述读写台外壳的一侧固定连接有过滤网。

7、作为优选的,所述读写台外壳的底部固定连接有防震地脚杯。

8、作为优选的,所述读写台外壳的斜面固定连接有三色指示灯,所述三色指示灯与调制解调模块电连接。

9、作为优选的,所述微动开关包括行程开关a、行程开关b、行程开关c、行程开关d和触发式行程开关;

10、所述行程开关a、行程开关b、行程开关c、行程开关d之间配合检测判断晶圆盒的类型,所述触发式行程开关用于激活射频收发模块。

11、与现有技术相比,本发明的有益效果:

12、通过微动开关与晶圆盒触碰,分别行程开关(a~d)的状态来判断晶圆盒的类型,同时压动触发式行程开关,激活射频收发模块调制解调模块读取信息并解码,送至信息处理芯片将接收的rfid电子标签的信息锁定串口指令转换为信息处理芯片可识别的数字信号,再经过单片机进行信号的接收、转换和传递,通过预设的晶圆盒类型表检索获取晶圆盒的类型,再将信息反馈给触摸显示屏,由触摸显示屏同步将晶圆盒的类型、读取玻璃管标签的状态、晶圆盒的锁定状态、机台状态分别显示。



技术特征:

1.一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,包括读写台外壳(1)、定位器(5)、射频收发模块(10)、触摸显示屏(8)、主板(13)、信息控制处理模块(14)、调制解调模块(15)和晶圆盒(2),所述晶圆盒(2)的底部开设有定位槽(3),所述晶圆盒(2)上设置有玻璃管标签(4);

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,所述读写台外壳(1)的表面固定连接有限位条(6)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,所述读写台外壳(1)的一侧固定连接有过滤网(16)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,所述读写台外壳(1)的底部固定连接有防震地脚杯(18)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,所述读写台外壳(1)的斜面固定连接有三色指示灯(9),所述三色指示灯(9)与调制解调模块(15)电连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,其特征在于,所述微动开关(7)包括行程开关a(71)、行程开关b(72)、行程开关c(73)、行程开关d(74)和触发式行程开关(75);


技术总结
本发明提供一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台,包括读写台外壳、定位器、射频收发模块、触摸显示屏、主板、信息控制处理模块、调制解调模块。通过微动开关与晶圆盒触碰,分别由行程开关(A~D)的状态来判断晶圆盒的类型,同时压动触发式行程开关,激活射频收发模块通过调制解调模块读取信息并解码,送至信息处理芯片将接收的RFID电子标签的信息锁定串口指令转换为信息处理芯片可识别的数字信号,再经过单片机进行信号的接收、转换和传递,通过预设的晶圆盒类型表检索获取晶圆盒的类型,再将信息反馈给触摸显示屏,由触摸显示屏同步将晶圆盒的类型、读取玻璃管标签的状态、晶圆盒的锁定状态、机台状态分别显示。

技术研发人员:请求不公布姓名
受保护的技术使用者:无锡芯享信息科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/29
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