本发明的实施方式涉及显示装置及其制造方法。
背景技术:
1、近年来,作为显示元件适用了有机发光二极管(oled)的显示装置得以实用化。该显示元件具备包括薄膜晶体管的像素电路、与像素电路连接的下电极、覆盖下电极的有机层和覆盖有机层的上电极。有机层除了发光层以外还包括空穴传输层、电子传输层等功能层。
2、在制造这样的显示元件的过程中,需要抑制可靠性的降低的技术。
技术实现思路
1、实施方式的目的在于,提供能够抑制可靠性的降低的显示装置及其制造方法。
2、根据一实施方式,在显示装置的制造方法中,形成下电极,沉积第一无机绝缘材料来形成覆盖所述下电极的第一绝缘层,停止所述第一无机绝缘材料的沉积,沉积第二无机绝缘材料而在所述第一绝缘层之上形成第二绝缘层,形成具有位于所述第二绝缘层之上且由导电材料形成的下部和位于所述下部之上且从所述下部的侧面突出的上部的隔壁,通过将所述第二绝缘层及所述第一绝缘层依次图案化来形成与所述下电极重叠的开口,在所述下电极之上形成包括发光层的有机层,形成覆盖所述有机层且与所述隔壁的所述下部接触的上电极。
3、根据一实施方式,显示装置具备:基板;下电极,其配置在所述基板的上方;肋部,其覆盖所述下电极的端部且具有与所述下电极重叠的开口;隔壁,其具有配置在所述肋部之上且由导电材料形成的下部和配置在所述下部之上且从所述下部的侧面突出的上部;有机层,其配置在所述下电极之上且包括发光层;以及上电极,其覆盖所述有机层且与所述隔壁的所述下部接触,所述肋部具备由第一无机绝缘材料形成的第一肋部层和位于所述第一肋部层之上且由第二无机绝缘材料形成的第二肋部层,所述有机层在所述下电极的所述端部的正上方位于所述第二肋部层之上。
4、根据实施方式,能够提供可抑制可靠性的降低的显示装置及其制造方法。
1.显示装置的制造方法,其中,
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法,其中,
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法,其中,所述第一无机绝缘材料与所述第二无机绝缘材料为同一材料。
4.根据权利要求3所述的显示装置的制造方法,其中,所述第一无机绝缘材料及所述第二无机绝缘材料为硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
5.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法,其中,
6.根据权利要求5所述的显示装置的制造方法,其中,所述第一无机绝缘材料与所述第二无机绝缘材料为彼此不同的材料。
7.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法,其中,所述第二无机绝缘材料为硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
8.根据权利要求7所述的显示装置的制造方法,其中,所述第一无机绝缘材料为硅氮化物(sin)、硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
9.显示装置,其具备:
10.根据权利要求9所述的显示装置,其中,所述第一无机绝缘材料与所述第二无机绝缘材料为同一材料。
11.根据权利要求10所述的显示装置,其中,所述第一无机绝缘材料及所述第二无机绝缘材料为硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
12.根据权利要求9所述的显示装置,其中,所述第一无机绝缘材料及所述第二无机绝缘材料为彼此不同的材料。
13.根据权利要求12所述的显示装置,其中,所述第二无机绝缘材料为硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
14.根据权利要求13所述的显示装置,其中,所述第一无机绝缘材料为硅氮化物(sin)、硅氧化物(sio)或硅氧氮化物(sion)。
15.根据权利要求9所述的显示装置,其中,所述第一肋部层的厚度与所述第二肋部层的厚度不同。