本技术与磁感应领域有关，特别是指一种应用于隔磁室内部的磁力监测系统。
背景技术：
1、目前，由于半导体制程是一项非常精密的制造流程，对环境稳定度的要求很高。在一些半导体机台的制程中，电子束对于振动及外界电磁波的干扰特别敏感。为了防止外部电磁波的干扰，一些半导体业者会选择建立一隔磁室(magnetic shielded room)来放置半导体机台。隔磁室主要用以屏蔽/隔离外界电磁干扰，保证室内电子、电气设备正常工作。
2、然而，很多现行的半导体产业在建立隔磁室以后就无监测机制。由于隔磁室的磁屏蔽能力并非绝对，当人员进出隔磁室时有机会产生微量的磁场变动，若无法及时侦测的话，仍有可能影响半导体机台的制程。另一方面，有些半导体业者会在机台附近装设磁力感应器，但通常只装设在其中一侧，因此仅能感测机台其中一侧的磁力变化，对于较远的机台另一侧的磁力变化就无法准确侦测，可能形成磁力感测区域的死角。综上所述，如何提供一个能够解决上述问题的磁力监测系统，是半导体领域之业者与研究者亟待解决的课题之一。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的在于提供一种磁力监测系统，其可以监测隔磁室中不同区域的磁力数值状况。
2、为达上述实用新型目的，本实用新型提供一种磁力监测系统，包含有：一隔磁室，具有复数个壁面及由该等壁面共同圈围出的一容置空间；一机台，设于该隔磁室的该容置空间内；以及复数个磁力感测模组，一端分别设于该隔磁室的该等壁面上，另一端讯号连接于一数位装置；该等磁力感测模组用以分别感测该隔磁室对应区域的一磁力讯号，并传输至该数位装置；其中，至少二该磁力感测模组不共面。
3、在一实施例中，该磁力感测模组具有一感测件、一传输件及一控制器；该感测件具有一感测单元及一第一转换单元；该传输件电性连接于该感测件及该控制器；该控制器具有一第二转换单元及一通讯单元；其中该感测单元用以感测该磁力讯号，该第一转换单元电性连接于该感测单元，用以将该磁力讯号转换为一转换讯号，并透过该传输件传输至该控制器；该控制器的该第二转换单元用以将该转换讯号转换为该磁力讯号，该通讯单元电性连接于该第二转换单元并讯号连接于该数位装置，用以将该磁力讯号传输至该数位装置。
4、在一实施例中，该磁力讯号包含有一x轴的磁力数值、一y轴的磁力数值及一z轴的磁力数值；其中该x轴、该y轴及该z轴彼此正交。
5、在一实施例中，至少二该磁力感测模组设于该机台的相对二侧。
6、在一实施例中，至少二该磁力感测模组分别设于彼此相对的二该壁面上。
7、在一实施例中，该隔磁室的其中一该壁面概呈矩形；至少二该磁力感测模组设于该壁面的相对两端。
8、在一实施例中，该隔磁室的任三该相邻壁面之间形成有一顶点；至少一该磁力感测模组设于该顶点上。
9、在一实施例中，该隔磁室概呈长方体，具有八该顶点；至少二该磁力感测模组分别设于该隔磁室沿一对角线上的相对二该顶点上。
10、在一实施例中，该隔磁室的任二该相邻壁面之间形成有一侧边；至少一该磁力感测模组设于该侧边上。
11、在一实施例中，该隔磁室概呈长方体，具有十二该侧边；至少二该磁力感测模组分别设于该隔磁室的相对二该侧边上。
12、本实用新型的有益效果：本实用新型的磁力监测系统，其可以监测隔磁室中不同区域的磁力数值状况。
1.一种磁力监测系统，其特征在于：包含有：
2.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：该磁力感测模组具有一感测件、一传输件及一控制器；该感测件具有一感测单元及一第一转换单元；该传输件电性连接于该感测件及该控制器；该控制器具有一第二转换单元及一通讯单元；其中该感测件之该感测单元用以感测该磁力讯号，该第一转换单元电性连接于该感测单元，用以将该磁力讯号转换为一转换讯号，并透过该传输件传输至该控制器；该控制器的该第二转换单元用以将该转换讯号转换为该磁力讯号，该通讯单元电性连接于该第二转换单元并讯号连接于该数位装置，用以将该磁力讯号传输至该数位装置。
3.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：该磁力讯号包含有一x轴的磁力数值、一y轴之的磁力数值及一z轴的磁力数值；其中该x轴、该y轴及该z轴彼此正交。
4.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：至少二该磁力感测模组设于该机台之相对二侧。
5.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：至少二该磁力感测模组分别设于彼此相对的二该壁面上。
6.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：该隔磁室的其中一该壁面呈矩形；至少二该磁力感测模组设于该壁面之的相对两端。
7.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：该隔磁室的任三相邻壁面之间形成有一顶点；至少一该磁力感测模组设于该顶点上。
8.如权利要求7所述的磁力监测系统，其特征在于：该隔磁室呈长方体，具有八该顶点；至少二该磁力感测模组分别设于该隔磁室沿一对角线上的相对二该顶点上。
9.如权利要求1所述的磁力监测系统，其特征在于：该隔磁室的任二相邻壁面之间形成有一侧边；至少一该磁力感测模组设于该侧边上。
10.如权利要求9所述的磁力监测系统，其特征在于：该隔磁室呈长方体，具有十二该侧边；至少二该磁力感测模组分别设于该隔磁室的相对二该侧边上。
