本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种氮气密封旋转轴。
背景技术：
1、半导体设备制程中有干燥工艺工位，水平式甩干机则是其中的一种，整台设备中旋转主轴是最重要的部件，在高速运行中易产生颗粒污染及并且会产生较高的温度，在此状况下，主轴中的密封圈晶圆颗粒度过高并且容易变型损坏。
2、为了解决该问题，本实用新型公开了一种氮气密封旋转轴。
技术实现思路
1、为克服现有技术的不足，本实用新型公开了一种氮气密封旋转轴。
2、为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种氮气密封旋转轴，包括主轴、轴套和轴体，所述主轴的内部上下间隔设置有两个轴承组，所述轴套设置在主轴的顶部，所述轴套的内部上下间隔设置有两个密封圈，所述轴套于两个密封圈中间对应的周身上设置有氮气进口和氮气出口，所述轴体穿设在两个密封圈和两个轴承组中并向主轴的两端延伸。
3、进一步的是，所述轴体于两个轴承组中间套设有挡圈。
4、进一步的是，所述轴体的下部套设有用于对两个轴承组进行固定的轴承固定螺母。
5、进一步的是，两个轴承组均包括有两个旋转轴承。
6、进一步的是，所述氮气进口和氮气出口关于轴套的中心相对称。
7、本实用新型实现以下有益效果：
8、本实用新型通过在主轴的两个密封圈中间增加氮气进出口，使气体在两个密封圈中间流动，可以把产生的颗粒污染物随气流带走，排放到废气排放口，同时利用氮气的温度低对主轴进行降温，增加了两个密封圈的寿命。
9、至于本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
1.一种氮气密封旋转轴，其特征在于，包括主轴(10)、轴套(20)和轴体(30)，所述主轴(10)的内部上下间隔设置有两个轴承组(40)，所述轴套(20)设置在主轴(10)的顶部，所述轴套(20)的内部上下间隔设置有两个密封圈(50)，所述轴套(20)于两个密封圈(50)中间对应的周身上设置有氮气进口(21)和氮气出口(22)，所述轴体(30)穿设在两个密封圈(50)和两个轴承组(40)中并向主轴(10)的两端延伸。
2.根据权利要求1所述的一种氮气密封旋转轴，其特征在于，所述轴体(30)于两个轴承组(40)中间套设有挡圈(60)。
3.根据权利要求1所述的一种氮气密封旋转轴，其特征在于，所述轴体(30)的下部套设有用于对两个轴承组(40)进行固定的轴承固定螺母(70)。
4.根据权利要求1所述的一种氮气密封旋转轴，其特征在于，两个轴承组(40)均包括有两个旋转轴承(41)。
5.根据权利要求1所述的一种氮气密封旋转轴，其特征在于，所述氮气进口(21)和氮气出口(22)关于轴套(20)的中心相对称。
