本发明涉及镀膜装置，更具体的说，本发明涉及一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置及其使用方法。
背景技术：
1、硬质合金涂层具有高硬度和高耐磨性，以及良好的热稳定性和高温抗氧化性，作为表面改性涂层使用，能够显著提升刀具、轴承等基体零部件的使用性能，延长产品使用寿命，降低其更换频率，从而达到降本增效的目的，在精密加工、汽车及航天行业等工业领域均有非常广泛的应用前景。硬质合金涂层常用的制备方法有物理气相沉积、化学气相沉积等真空制备方法，制备过程在真空条件下进行。传统的涂层制备工艺，需要在大气环境下将阴极靶材安装真空室内，并将需要沉积涂层的基体样件安装在真空室中靶台上，之后再对真空室抽真空，进行镀膜，待镀膜过程完成后，将真空室内真空状态恢复至大气环境，更换阴极靶材及基体样件，准备下一次试验。
2、镀膜过程需要在真空环境下完成，但是阴极靶材为消耗品，需要定期更换，此外待镀膜基体工件完成镀膜过程后需要取出更换新工件，更换靶材和基体工件等准备性工作需要在大气环境下完成。以直径1000mm，高1000mm的真空室为例，采用机械泵、分子泵进行抽真空，需要时间大概40～50min，能够将真空室内大气压抽至6×10 -3pa，真空室内真空环境恢复至大气环境需要时间大概10min；以刀具表面硬质合金涂层的电弧沉积镀膜过程为例，单面镀膜时间约为120min；与实际镀膜工作时间相比，抽真空过程耗时较久，不利于涂层的稳定、连续制备，工作效率低。此外，硬质合金涂层因其硬度较高，存在“崩膜”现象，这是因为靶材材料与基体材料的硬度、弹性模量系数等参数相差较大，靶材离化后以等离子体形式附着在基体时，与基体材料间存在内应力，从而导致“崩膜”的发生，镀膜过程无法顺利完成。
3、为实现硬质合金涂层的稳定、连续真空镀膜过程，需要解决阴极靶材与基体工件在真空环境下的连续更换，并防止涂层制备过程中“崩膜”问题的出现。
技术实现思路
1、本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
2、为了实现本发明的这些目的和其它优点，提供了一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，包括主舱室，以及设置在所述主舱室内的靶台，且所述主舱室设置有观察窗；
3、靶材更换舱室，其贯通连接在所述主舱室的一侧，且所述靶材更换舱室与所述主舱室之间设置有电动密封门ⅰ；
4、靶材输送机构，其设置在所述靶材更换舱室内；
5、基体更换舱室，其贯通连接在所述主舱室的另一侧，且所述靶材更换舱室与所述主舱室之间设置有电动密封门ⅱ；
6、基体输送机构，其设置在所述基体更换舱室内；
7、用于基体预热的加热机构，其对应所述观察窗设置。
8、优选的是，其中，所述靶材更换舱室与所述主舱室贯通连接的方式为：
9、所述靶材更换舱室连通有磁过滤弯管的一端，所述磁过滤弯管的另一端与所述主舱室贯通连接。
10、优选的是，其中，所述电动密封门ⅰ与所述电动密封门ⅱ结构相同，所述电动密封门ⅰ包括：
11、密封门体，其顶端与所述靶材更换舱室铰接，且所述密封门体上竖直架设有表面杆；
12、分别由伺服电机驱动的两个滚珠丝杠，其对称的倾斜设置在所述靶材更换舱室内，且两个所述滚珠丝杠的螺母连接有滑杆；
13、滑筒，其穿设在所述表面杆上，且所述滑筒上连接有连接筒，所述连接筒穿设在所述滑杆上。
14、优选的是，其中，所述靶材更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅰ，所述靶材输送机构包括：
15、两个传送带ⅰ，其设置在所述靶材更换舱室内，且两个所述传送带ⅰ分别对应两个所述密封门ⅰ设置；
16、机械臂ⅰ，其设置在所述靶材更换舱室内，且所述机械臂ⅰ对应所述电动密封门ⅰ设置。
17、优选的是，其中，所述基体更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅱ，所述基体输送机构包括：
18、两个传送带ⅱ，其设置在所述基体更换舱室内，且两个所述传送带ⅱ分别对应两个所述密封门ⅱ设置；
19、机械臂ⅱ，其设置在所述基体更换舱室内，且所述机械臂ⅱ对应所述电动密封门ⅱ设置。
20、优选的是，其中，所述加热机构包括二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器架设在所述主舱室外，且所述二氧化碳激光器的发射端对应所述观察窗设置。
21、优选的是，其中，所述主舱室内还设置有旋转台，所述靶台设置在所述旋转台上，且所述靶台上对称的开设有用于放置基体的多个卡槽。
22、一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置的使用方法，包括以下步骤：
23、s1、初次镀膜：打开密封门ⅰ，将阴极靶材放置在靶材更换舱室的传送带ⅰ上；打开密封门ⅱ，将基体放置在基体更换舱室的传送带ⅱ上；并分别使用机械泵和分子泵对整个装置进行抽真空处理后，开始镀膜；
24、s2、预热消应处理：根据保证基体稳定镀膜所需的温度，调节二氧化碳激光器的功率使基体达到相应的温度；
25、s3、更换阴极靶材：将新的阴极靶材由位于一侧的密封门ⅰ放入，并将使用过的阴极靶材由位于另一侧的密封门ⅰ取出；
26、s4、更换基体：将新的基体由位于一侧的密封门ⅱ放入，并将加工完成的基体由位于另一侧的密封门ⅱ取出；
27、s5、重复上述步骤s2～s4，进行真空状态下硬质涂层的连续镀膜；
28、s6、待所有基体完成镀膜后，关闭镀膜装置。
29、优选的是，其中，更换阴极靶材的方法为：
30、将新的阴极靶材放进靶材更换舱室中位于一侧的传送带ⅰ上，关闭密封门ⅰ，并对靶材更换舱室进行抽真空处理，使其与主舱室达到相同的气压；然后由伺服电机驱动滚珠丝杠将电动密封门ⅰ开启，再由机械臂ⅰ抓起使用过的阴极靶材，放置在位于另一侧的传送带ⅰ上，两个传送带ⅰ分别运输新的阴极靶材和使用过的阴极靶材至预定位置；再由机械臂抓起新的阴极靶材安装在磁过滤弯管上，随后电机驱动滚珠丝杠将电动密封门ⅰ关闭；再向靶材更换舱室中通入空气，使得靶材更换舱室内与外界大气压相同，打开密封门ⅰ取出使用过的阴极靶材，更换新的阴极靶材以待下次使用。
31、优选的是，其中，更换基体的方法为：
32、将新的基体放置在基体更换舱室中位于一侧的传送带ⅱ上，关闭密封门ⅱ，并对基体更换舱室进行抽真空处理，使其与主舱室达到相同的气压；然后伺服电机驱动滚珠丝杠打开电动密封门ⅱ，由机械臂ⅱ抓起已加工完成的基体，放置位于另一侧的传送带ⅱ上，两个传送带ⅱ分别运输新的基体和已加工完成的基体至预定位置，机械臂ⅱ抓起新的基体并插入靶台的卡槽中，放置完成一个新的基体后，靶台由旋转台带动旋转设定角度，再依次放置多个新的基体，新的基体放置完成后，再由伺服电机驱动滚珠丝杠来关闭电动密封门ⅱ；再向基体更换舱室中通入空气，使得基体更换舱室内与外界大气压相同，再打开密封门ⅱ取出加工完成的基体，并放进新的待加工基体待继续加工。
33、本发明至少包括以下有益效果：
34、本发明，在主舱室内部保持真空环境的状态下，在靶材更换舱室内进行阴极靶材更换，在基体更换舱室内进行基体更换，耗时短、效率高；并且通过加热机构对基体进行预热消应处理，降低“崩膜”现象的出现，提升镀膜产品成品率。
35、本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
1.一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，包括主舱室，以及设置在所述主舱室内的靶台，且所述主舱室设置有观察窗，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室与所述主舱室贯通连接的方式为：
3.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述电动密封门ⅰ与所述电动密封门ⅱ结构相同，所述电动密封门ⅰ包括：
4.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅰ，所述靶材输送机构包括：
5.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述基体更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅱ，所述基体输送机构包括：
6.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述加热机构包括二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器架设在所述主舱室外，且所述二氧化碳激光器的发射端对应所述观察窗设置。
7.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述主舱室内还设置有旋转台，所述靶台设置在所述旋转台上，且所述靶台上对称的开设有用于放置基体的多个卡槽。
8.一种采用权利要求1～7任一项所述装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置的使用方法，其特征在于，更换阴极靶材的方法为：
10.根据权利要求8所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置的使用方法，其特征在于，更换基体的方法为：
