本申请涉及高精度设备搬运，尤其是涉及一种对光刻机设备的缓震搬运设备。
背景技术：
1、光刻机又叫掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。光刻，也被称为光学平版刻法或紫外光刻，是一种在薄膜或基板上对零件图形化的精密加工工艺。
2、光刻机是一种高精度的设备，在搬迁过程中容易受到震动导致设备发生故障，在设备发生震动无法很好的吸收动能，容易对设备造成二次损伤。
技术实现思路
1、为了解决设备在搬运过程中遇到的震动和动能吸收问题，本申请提供一种对光刻机设备的缓震搬运设备。
2、本申请提供的一种对光刻机设备的缓震搬运设备采用如下的技术方案：
3、一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括运输箱，所述运输箱一侧铰连设置有门板，所述运输箱和所述门板相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆，所述运输箱内壁一侧连接设置有固定结构，所述运输箱内壁顶端连接设置有气缸二，所述气缸二底端连接设置有限位板，所述限位板一侧连接设置有橡胶缓冲垫，所述运输箱内壁底端连接设置有滑块，所述滑块顶端连接设置有底板一，所述底板一顶端连接设置有阻尼器，所述阻尼器顶端连接设置有底板二，所述阻尼器与所述底板二之间连接设置有缓冲气囊，所述底板一底端连接设置有辅助支撑轮，所述底板一底端连接设置有齿轨，所述齿轨一侧转动连接有丝杆，所述丝杆一端贯穿所述运输箱连接设置有皮带轮二，所述运输箱一侧连接设置有驱动电机，所述驱动电机输出端连接设置有皮带轮一，所述丝杆和所述驱动电机外侧套设连接设置有皮带。
4、优选的，所述固定结构包括气缸一，所述气缸一一端连接设置有支撑板，所述支撑板一侧连接设置有支撑柱，所述支撑柱相互靠近的一侧转动连接有压力辊，所述压力辊表面套设连接橡胶套。
5、优选的，所述运输箱底部对应所述丝杆开设有丝杆槽。
6、优选的，所述运输箱一侧铰连设置有门板，所述运输箱和所述门板相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆。
7、优选的，所述运输箱对应所述电动伸缩杆开设于放置槽。
8、优选的，所述运输箱底部对应所述辅助支撑轮开设有通孔，且所述辅助支撑轮直接与地面接触。
9、优选的，所述运输箱底部连接设置有福马轮。
10、优选的，所述底板一与所述底板二之间连接设置有缓冲气囊。
11、优选的，所述运输箱一侧开设有观察窗口。
12、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
13、1、通过阻尼器和气囊的配合使用，利用阻尼器中的液压油和弹簧与气囊中的高压空气来吸收设备震动产生的动能，从而避免设备发生意外；相比较可以节省运输成本，电机输出端通过皮带带动丝杆转动，丝杆通过齿轨控制装置底板移动，从而让光刻机更加方便进入设备内部，节省劳动力；
14、2、缓震搬运设备内壁的固定结构可以通过气缸伸缩来控制装置的适用范围；相较于现有技术，让装置的适应范围更广可以适应不同型号的光刻机，可以有效的提高装置的利用率。
1.一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括运输箱（1），其特征在于：所述运输箱（1）内壁一侧连接设置有固定结构（4），所述运输箱（1）内壁顶端连接设置有气缸二（5），所述气缸二（5）底端连接设置有限位板（6），所述限位板（6）一侧连接设置有橡胶缓冲垫（7），所述运输箱（1）内壁底端连接设置有滑块（71），所述滑块（71）顶端连接设置有底板一（72），所述底板一（72）顶端连接设置有阻尼器（73），所述阻尼器（73）顶端连接设置有底板二（75），所述底板一（72）底端连接设置有辅助支撑轮（8），所述底板一（72）底端连接设置有齿轨（9），所述齿轨（9）一侧转动连接有丝杆（10），所述丝杆（10）一端贯穿所述运输箱（1）连接设置有皮带轮二（112），所述运输箱（1）一侧连接设置有驱动电机（11），所述驱动电机（11）输出端连接设置有皮带轮一（111），所述丝杆（10）和所述驱动电机（11）外侧套设连接设置有皮带（12）。
2.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述固定结构（4）包括气缸一（41），所述气缸一（41）一端连接设置有支撑板（42），所述支撑板（42）一侧连接设置有支撑柱（43），所述支撑柱（43）相互靠近的一侧转动连接有压力辊（44），所述压力辊（44）表面套设连接橡胶套。
3.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）底部对应所述丝杆（10）开设有丝杆槽。
4.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）一侧铰连设置有门板（2），所述运输箱（1）和所述门板（2）相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆（3）。
5.根据权利要求4所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）对应所述电动伸缩杆（3）开设于放置槽。
6.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）底部对应所述辅助支撑轮（8）开设有通孔，且所述辅助支撑轮（8）直接与地面接触。
7.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）底部连接设置有福马轮（13）。
8.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述底板一（72）与所述底板二（75）之间连接设置有缓冲气囊（74）。
9.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述运输箱（1）一侧开设有观察窗口。
