本技术涉及半导体生产用温控,具体为一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备。
背景技术:
1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,在半导体设备生产过程中,需通过温控设备对设备的温度进行控制,以保证半导体设备的生产质量。
2、申请号为cn202110527117.5公开了一种半导体制造用温控设备,包括温控箱和冷水箱,所述温控箱的上端设有开口,所述温控箱的两侧均设有升降组件,两侧所述升降组件之间连接有箱盖......本发明与现有技术相比的优点在于:解决了目前的半导体生产用温控设备只采用制冷系统对负载设备降温,无法达到理想温控效果的问题;该种温控设备直接使用循环水对风力对降温,循环水的使用会导致温度升高,导致对生产设备的降温效果较差,且对设备内部的换气效果较差,不能快速对生产设备进行升温和降温,导致温控设备的实用性较低。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,包括箱体、位于箱体顶部一侧的冷却水箱以及位于箱体两侧中间位置处的进气头,所述箱体包括:
3、设置在箱体两端中间位置处的安装口,且两组安装口内部的两侧皆设置有密封门。
4、优选的,所述冷却水箱顶部的中间位置处设置有半导体制冷器,所述冷却水箱底部的中间位置处安装有转动电机,所述转动电机的输出端连接有贯穿至冷却水箱呢不的转轴,所述转轴位于冷却水箱内部的一端设置有搅拌架,所述冷却水箱底部的一端设置有水泵,所述水泵的底端设置有贯穿至箱体内部的输水管,所述箱体内部远离所述输水管的一侧设置有多组电热管。
5、优选的,两组所述进气头远离所述箱体的一端皆设置有纱网,两组所述进气头的内部皆设置有风机,所述箱体底部的两侧皆设置有出风管。
6、优选的,两组所述安装口内部的两侧皆设置有安装轴,且安装轴贯穿至密封门内部,所述冷却水箱顶部的一端设置有注水管。
7、优选的,所述冷却水箱底部的四角处皆设置有固定杆,所述冷却水箱通过固定杆与箱体固定连接,所述半导体制冷器通过固定螺栓与冷却水箱可拆卸连接。
8、优选的,所述半导体制冷器的底部设置有多组贯穿至冷却水箱内部的导温铜片,所述转动电机通过固定螺栓与冷却水箱可拆卸连接。
9、优选的,所述搅拌架内部的中间位置处设置有安装孔,所述搅拌架通过安装孔与转轴可拆卸连接,所述搅拌架通过转轴与转动电机传动连接。
10、优选的,所述箱体底部的两端皆设置有连接管,且水泵的顶端与一组连接管相连接,所述输水管远离所述水泵的一端与另一组连接管相连接。
11、优选的,两组所述进气头的内部皆设置有安装架,所述风机通过安装架与进气头可拆卸连接,所述箱体内部的顶端设置有温度传感器。
12、优选的,两组所述进气头远离所述箱体的一端皆设置有安装槽,所述纱网通过安装槽与进气头可拆卸连接。
13、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14、1.本实用新型通过半导体制冷器和导温铜片对冷却水箱内部的冷却水进行降温,通过转轴可使转动电机带动搅拌架发生转动,从而对冷却水箱内部冷却水的降温效率更高,通过水泵将冷却水输送至输水管内部,并实现冷却水的循环使用,通过对冷却水不断进行降温,从而使温控设备的降温效果更好;
15、2.本实用新型通过进气头可使外界空气进入箱体内部,并通过纱网可将杂物进入箱体内部,通过出风管对箱体内部空气的流通效果更好,通过风机产生风力,并通过输水管和电热管可分别对风力进行降温和加热,从而实现对负载进行降温和升温,使温控设备的使用效果更好。
1.一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:包括箱体(1)、位于箱体(1)顶部一侧的冷却水箱(2)以及位于箱体(1)两侧中间位置处的进气头(3),所述箱体(1)包括:
2.根据权利要求1所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:所述冷却水箱(2)顶部的中间位置处设置有半导体制冷器(201),所述冷却水箱(2)底部的中间位置处安装有转动电机(202),所述转动电机(202)的输出端连接有贯穿至冷却水箱(2)呢不的转轴(203),所述转轴(203)位于冷却水箱(2)内部的一端设置有搅拌架(204),所述冷却水箱(2)底部的一端设置有水泵(205),所述水泵(205)的底端设置有贯穿至箱体(1)内部的输水管(206),所述箱体(1)内部远离所述输水管(206)的一侧设置有多组电热管(207)。
3.根据权利要求1所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:两组所述进气头(3)远离所述箱体(1)的一端皆设置有纱网(301),两组所述进气头(3)的内部皆设置有风机(302),所述箱体(1)底部的两侧皆设置有出风管(303)。
4.根据权利要求1所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:两组所述安装口(101)内部的两侧皆设置有安装轴,且安装轴贯穿至密封门(102)内部,所述冷却水箱(2)顶部的一端设置有注水管。
5.根据权利要求2所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:所述冷却水箱(2)底部的四角处皆设置有固定杆,所述冷却水箱(2)通过固定杆与箱体(1)固定连接,所述半导体制冷器(201)通过固定螺栓与冷却水箱(2)可拆卸连接。
6.根据权利要求2所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:所述半导体制冷器(201)的底部设置有多组贯穿至冷却水箱(2)内部的导温铜片,所述转动电机(202)通过固定螺栓与冷却水箱(2)可拆卸连接。
7.根据权利要求2所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:所述搅拌架(204)内部的中间位置处设置有安装孔,所述搅拌架(204)通过安装孔与转轴(203)可拆卸连接,所述搅拌架(204)通过转轴(203)与转动电机(202)传动连接。
8.根据权利要求2所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:所述箱体(1)底部的两端皆设置有连接管,且水泵(205)的顶端与一组连接管相连接,所述输水管(206)远离所述水泵(205)的一端与另一组连接管相连接。
9.根据权利要求3所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:两组所述进气头(3)的内部皆设置有安装架,所述风机(302)通过安装架与进气头(3)可拆卸连接,所述箱体(1)内部的顶端设置有温度传感器。
10.根据权利要求3所述的一种避免高温损坏的半导体生产用温控设备,其特征在于:两组所述进气头(3)远离所述箱体(1)的一端皆设置有安装槽,所述纱网(301)通过安装槽与进气头(3)可拆卸连接。