一种具有微调结构的气体流量控制器的制作方法

专利检索2024-11-16  4


本技术属于气体流量控制器,尤其涉及一种具有微调结构的气体流量控制器。


背景技术:

1、气体流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

2、气体流量控制器能够控制通过气体的流量,一般的控制器往往通过单片机进行控制,但是此种流量控制器结构较为复杂,成本也较高,而使用机械结构进行控制流量的流量控制器往往控制精度较差,没有微调结构。


技术实现思路

1、本实用新型提供一种具有微调结构的气体流量控制器,旨在解决使用机械结构进行控制流量的流量控制器往往控制精度较差,没有微调结构的问题。

2、本实用新型是这样实现的,一种具有微调结构的气体流量控制器,包括竖向设置且两端均封口的装置主管,所述装置主管两侧外表面的下部均横向连通有流通管,所述装置主管的内部设置有外径大小与其内径大小相适配的活动柱,所述活动柱的一侧表面横向贯通开设有与两个所述流通管内径相适配的流通孔;

3、所述装置主管的顶端开设有安装孔,所述安装孔的内部固定连接有螺纹套,所述螺纹套的内部竖向螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆的底端转动连接于所述活动柱的上表面,所述螺纹杆的外表面且位于所述螺纹套的上方横向固定连接有连接盘,所述连接盘的外表面竖向固定连接有向下延伸的延伸筒,所述延伸筒外表面的底端固定连接有外齿环,一个所述流通管的上表面竖向转动连接有拨动片,所述拨动片的顶端竖向固定连接有与所述外齿环相互啮合的齿柱。

4、优选的,所述齿柱的外径小于所述外齿环的外径。

5、优选的,所述装置主管的下表面中部竖向贯通开设有气孔。

6、优选的,所述活动柱外表面的上端和下端均固定连接有密封胶环。

7、优选的,所述装置主管的下表面竖向贯通开设有多个导向孔,多个所述导向孔的内部均竖向滑动连接有导向条,多个所述导向条的顶端均固定连接于所述活动柱的下表面。

8、优选的,两个所述流通管的外端均固定连接有法兰盘。

9、优选的,所述螺纹杆的顶端固定连接有转动盘。

10、有益效果

11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种具有微调结构的气体流量控制器,通过设置齿柱和外齿环,该装置在使用期间需要进行调节时,可转动螺纹杆来带动活动柱在装置主管的内部移动,螺纹杆转动的过程中就在螺纹套的作用下进行竖直移动,活动柱也就同步运动,而活动柱表面开设的流通孔与两个流通管之间的连通截面就会变化,以此就能够调节气体的流量,而在需要进行微调时,转动拨动片就能够带动齿柱转动,从而带动外齿环转动,由于齿柱的外径远小于外齿环的外径,在转动齿柱时,外齿环仅能进行微小的转动,以此就形成了微调结构,使得该装置能够进行气体流量的微小调节,从而提高了该装置的实用性。



技术特征:

1.一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:包括竖向设置且两端均封口的装置主管(1),所述装置主管(1)两侧外表面的下部均横向连通有流通管(2),所述装置主管(1)的内部设置有外径大小与其内径大小相适配的活动柱(4),所述活动柱(4)的一侧表面横向贯通开设有与两个所述流通管(2)内径相适配的流通孔(5);

2.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述齿柱(15)的外径小于所述外齿环(13)的外径。

3.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述装置主管(1)的下表面中部竖向贯通开设有气孔(6)。

4.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述活动柱(4)外表面的上端和下端均固定连接有密封胶环(16)。

5.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述装置主管(1)的下表面竖向贯通开设有多个导向孔,多个所述导向孔的内部均竖向滑动连接有导向条(7),多个所述导向条(7)的顶端均固定连接于所述活动柱(4)的下表面。

6.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:两个所述流通管(2)的外端均固定连接有法兰盘(3)。

7.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述螺纹杆(9)的顶端固定连接有转动盘(10)。


技术总结
本技术适用于气体流量控制器技术领域,提供了一种具有微调结构的气体流量控制器,包括竖向设置且两端均封口的装置主管。该具有微调结构的气体流量控制器,通过设置齿柱和外齿环,该装置在使用期间需要进行调节时,可转动螺纹杆来带动活动柱在装置主管的内部移动,螺纹杆转动的过程中就在螺纹套的作用下进行竖直移动,活动柱也就同步运动,而活动柱表面开设的流通孔与两个流通管之间的连通截面就会变化,以此就能够调节气体的流量,而在需要进行微调时,转动拨动片就能够带动齿柱转动,从而带动外齿环转动,由于齿柱的外径远小于外齿环的外径,以此就形成了微调结构,使得该装置能够进行气体流量的微小调节,从而提高了该装置的实用性。

技术研发人员:刘学
受保护的技术使用者:沈阳东固真空设备有限公司
技术研发日:20231016
技术公布日:2024/5/29
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