本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种流量传感器及质量流量控制器。
背景技术：
1、目前，半导体的制造通常需要在整个制造过程中精确控制各种流体(气体或液体)，流体流量的测量和调节通常使用气体质量流量控制器(mfc)来实现，例如热式质量流量控制器，热式质量流量控制器的流量测量功能可以通过热式流量计或流量传感器来实现，具体是基于热传递原理实现对流体的测量，流经流量传感器的流体会带走传感器的一部分热量，根据流体与传感器之间热量交换的关系即可计算得到流体流量。
2、热式质量流量控制器在测量微小流量方面具有突出优点，但是，由于电磁阀、电路板上的元器件产生的很多热量会经由底座传导至流量传感器的外壳，再经由外壳传导至执行流量测量功能的热敏电阻上，导致流量传感器的测量值受到外界温度的影响较大，从而产生测量误差。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量传感器及质量流量控制器，其可以有效减小外界温度对流量传感器的测量值产生的影响，从而可以提高流量测量精度。
2、为实现本实用新型的目的而提供一种流量传感器，包括固定座、外壳和传感管，其中，所述传感管包括中间管段和分别与所述中间管段的两端连接的两个边缘管段，两个所述边缘管段相对于所述中间管段朝同一方向弯折；所述中间管段上设置有相对于所述中间管段的中心位置对称分布的两个绕组；
3、所述外壳与所述固定座连接；所述外壳的内部构成有容置空间，所述容置空间中设置有热隔离结构，所述热隔离结构与所述外壳通过第一连接结构连接，所述第一连接结构被设置为能够减少所述外壳与所述热隔离结构之间的热传导；
4、所述中间管段和两个所述边缘管段均与所述外壳不相接触，其中，所述中间管段固定于所述热隔离结构；两个所述边缘管段贯穿所述外壳，并延伸至所述外壳的外部，且与所述固定座固定连接。
5、可选地，所述外壳上形成有镂空部；
6、所述第一连接结构包括隔热部和连接桥，其中，所述镂空部位于所述隔热部与所述外壳之间，以使二者不相接触；所述连接桥的两端分别与所述隔热部和所述外壳连接，所述连接桥的尺寸满足能够减少所述隔热部和所述外壳之间的热传导；
7、所述热隔离结构与所述隔热部连接。
8、可选地，所述连接桥为一个，且所述连接桥、所述隔热部和所述镂空部均为相对于所述中间管段的中心位置对称的对称结构。
9、可选地，所述外壳包括外壳主体，所述外壳主体上形成有非闭合的环形通孔，所述非闭合的环形通孔用作所述镂空部，且所述非闭合的环形通孔将所述外壳主体分隔为第一外壳分体和第二外壳分体，所述第一外壳分体位于所述非闭合的环形通孔所围空间之内，用作所述隔热部，所述第二外壳分体位于所述非闭合的环形通孔所围空间之外；
10、所述外壳主体的位于所述非闭合的环形通孔两端之间的部分用作所述连接桥，分别与所述第一外壳分体和第二外壳分体连为一体。
11、可选地，所述热隔离结构包括位于所述容置空间中的两个支撑部，两个所述支撑部在沿所述中间管段的延伸方向上相对设置，且两个所述支撑部均与所述隔热部连接；
12、在两个所述支撑部远离所述隔热部的端面上均设置有容置槽，所述中间管段穿设于两个所述容置槽，且在每个所述容置槽与所述中间管段之间填充有胶体。
13、可选地，所述热隔离结构还包括设置于所述容置空间中，且位于两个所述支撑部之间的两个隔热件，两个所述隔热件分别位于两个所述绕组的两侧，用于将两个所述绕组包覆在二者之间。
14、可选地，所述外壳与所述固定座不相接触，且通过第二连接结构连接；
15、所述第二连接结构被设置为能够减少所述外壳与所述固定座之间的热传导。
16、可选地，所述第二连接结构包括相互配合的凹部和凸部，所述凹部和凸部中的一者设置于所述外壳上，另一者设置于所述固定座上；所述外壳与所述固定座不相接触。
17、可选地，所述第二连接结构还包括相互配合的第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部中的一者设置于所述外壳上，另一者设置于所述固定座上，用于限制所述外壳与所述固定座相对转动。
18、可选地，所述第一限位部为限位凸部，所述限位凸部设置于所述凸部与其所在的所述固定座或所述外壳之间，且所述限位凸部的径向截面形状为长宽比不等的形状；
19、所述第二限位部为限位凹部，所述限位凹部形成于所述凹部所在的所述外壳或所述固定座上，且位于所述凹部的靠近所述凸部的一侧，所述限位凹部的内表面的径向截面形状与所述限位凸部的径向截面形状相适配；
20、所述限位凸部的一部分位于所述限位凹部之外，以使所述外壳与所述固定座不相接触。
21、可选地，所述第二连接结构还包括同轴设置于所述凸部中的螺纹孔，和设置于所述凹部所在的所述外壳或所述固定座上的安装孔，以及紧固螺钉，其中，所述安装孔与所述螺纹孔同轴；所述紧固螺钉穿过所述安装孔，并与所述螺纹孔螺纹连接。
22、可选地，所述流量传感器还包括设置于所述容置空间中的绝缘部件以及用于处理信号的电子处理元件，其中，所述绝缘部件中设置有引线电路，所述引线电路与两个所述绕组的引出线电连接；
23、所述绝缘部件上还设置有与所述引线电路电连接的引线插针，所述引线插针的一端贯穿所述外壳，并延伸至所述外壳的外部，与所述电子处理元件电连接。
24、作为另一个技术方案，本实用新型还提供一种质量流量控制器，包括本实用新型提供的上述流量传感器。
25、本实用新型具有以下有益效果：
26、本实用新型提供的流量传感器，其在外壳内部构成的容置空间中设置热隔离结构，传感管的中间管段固定于该热隔离结构上，并通过第一连接结构将热隔离结构与外壳连接，该第一连接结构被设置为能够减少外壳与热隔离结构之间的热传导，且中间管段和两个边缘管段均与外壳不相接触。通过使外壳与热隔离结构之间仅通过第一连接结构连接，并利用第一连接结构减少外壳与热隔离结构之间的热传导，可以避免较多的热量经由外壳传导至热隔离结构，结合热隔离结构本身的热隔离作用，可以进一步减少传导至中间管段的两个绕组上的热量，从而可以有效减小外界温度对流量传感器的测量值产生的影响，进而可以提高流量测量精度。
27、本实用新型提供的质量流量控制器，其通过采用本实用新型提供的上述流量传感器，可以有效减小外界温度对流量传感器的测量值产生的影响，从而可以提高流量测量精度。
1.一种流量传感器，其特征在于，包括固定座、外壳和传感管，其中，所述传感管包括中间管段和分别与所述中间管段的两端连接的两个边缘管段，两个所述边缘管段相对于所述中间管段朝同一方向弯折；所述中间管段上设置有相对于所述中间管段的中心位置对称分布的两个绕组；
2.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述外壳上形成有镂空部；
3.根据权利要求2所述的流量传感器，其特征在于，所述连接桥为一个，且所述连接桥、所述隔热部和所述镂空部均为相对于所述中间管段的中心位置对称的对称结构。
4.根据权利要求2所述的流量传感器，其特征在于，所述外壳包括外壳主体，所述外壳主体上形成有非闭合的环形通孔，所述非闭合的环形通孔用作所述镂空部，且所述非闭合的环形通孔将所述外壳主体分隔为第一外壳分体和第二外壳分体，所述第一外壳分体位于所述非闭合的环形通孔所围空间之内，用作所述隔热部，所述第二外壳分体位于所述非闭合的环形通孔所围空间之外；
5.根据权利要求2-4中任意一项所述的流量传感器，其特征在于，所述热隔离结构包括位于所述容置空间中的两个支撑部，两个所述支撑部在沿所述中间管段的延伸方向上相对设置，且两个所述支撑部均与所述隔热部连接；
6.根据权利要求5所述的流量传感器，其特征在于，所述热隔离结构还包括设置于所述容置空间中，且位于两个所述支撑部之间的两个隔热件，两个所述隔热件分别位于两个所述绕组的两侧，用于将两个所述绕组包覆在二者之间。
7.根据权利要求1-4中任意一项所述的流量传感器，其特征在于，所述外壳与所述固定座不相接触，且通过第二连接结构连接；
8.根据权利要求7所述的流量传感器，其特征在于，所述第二连接结构包括相互配合的凹部和凸部，所述凹部和凸部中的一者设置于所述外壳上，另一者设置于所述固定座上；所述外壳与所述固定座不相接触。
9.根据权利要求8所述的流量传感器，其特征在于，所述第二连接结构还包括相互配合的第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部中的一者设置于所述外壳上，另一者设置于所述固定座上，用于限制所述外壳与所述固定座相对转动。
10.根据权利要求9所述的流量传感器，其特征在于，所述第一限位部为限位凸部，所述限位凸部设置于所述凸部与其所在的所述固定座或所述外壳之间，且所述限位凸部的径向截面形状为长宽比不等的形状；
11.根据权利要求8所述的流量传感器，其特征在于，所述第二连接结构还包括同轴设置于所述凸部中的螺纹孔，和设置于所述凹部所在的所述外壳或所述固定座上的安装孔，以及紧固螺钉，其中，所述安装孔与所述螺纹孔同轴；所述紧固螺钉穿过所述安装孔，并与所述螺纹孔螺纹连接。
12.根据权利要求1-4中任意一项所述的流量传感器，其特征在于，所述流量传感器还包括设置于所述容置空间中的绝缘部件以及用于处理信号的电子处理元件，其中，所述绝缘部件中设置有引线电路，所述引线电路与两个所述绕组的引出线电连接；
13.一种质量流量控制器，其特征在于，包括权利要求1-12中任意一项所述的流量传感器。
