本技术涉及抛光液制备检测,特别涉及一种硅片抛光液制备用取样装置。
背景技术:
1、硅片是集成电路的主要衬底材料,其表面粗糙度是影响集成电路刻蚀线宽的重要因素之一,在硅片抛光时,需要使用相应的抛光液,在化学和机械的协同作用下,获得高质量的抛光硅片,在硅片抛光液制备时,需要对相应工序配比的溶液进行取样检测,以保证硅片抛光液的制备合格率;
2、中国专利授权公告号cn217930959u公开了一种硅片抛光液制备用精确取样装置,包括:取样管、活塞、拉杆、抽液嘴和防护机构,其中,所述防护机构包括防护罩、气管和放气嘴,所述防护罩固定在所述取样管的底端,并罩设在所述抽液嘴外侧;在伸入进行取样时,放气嘴处于关闭状态,在气压的作用下,液体无法进入防护罩内部,在移动至取样深度后,打开放气嘴,液体缓慢进入防护罩内部,液体不会发生较大程度的扰动,人员通过拉杆将活塞向上提拉,该高度的液体经由抽液嘴被抽送至取样管内部,完成取样,在装置向取样深度进行移动时,抽液嘴始终不与其他高度的液体接触,可精准抽取指定高度的液体,不会造成其他高度的液体污染。上述的现有技术方案存在以下不足之处:该技术方案通过打开放气嘴,缓慢的进行排气,此时,液体缓慢进入防护罩内部,并充满防护罩,液体不会发生较大程度的扰动,但该技术方案仅能对一层的液体进行抽取,当需要别不同高度的液体进行抽取时需要反复多次操作,如此较为繁琐,给工作人员带来不便,因此我们需要设计一种硅片抛光液制备用取样装置来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种硅片抛光液制备用取样装置,以解决上述背景技术中提出的需要一层一层的反复取样的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片抛光液制备用取样装置,包括取样管,所述取样管的顶端安装有密封盖,且密封盖的内部设置有通槽,所述密封盖的顶端安装有固定板,且固定板的顶端安装有拉环,所述固定板的底端安装有拉杆,且拉杆的底端安装有取样盒,所述取样盒的内部均匀设置有存放槽,所述取样盒的一端安装有盖板,且盖板的顶端安装有螺纹杆,所述螺纹杆的顶端安装有手轮,所述固定板的内部设置有螺纹槽,所述螺纹杆竖向贯穿于螺纹槽的内部,所述取样管的一端安装有刻度表。
3、使用本技术方案的一种硅片抛光液制备用取样装置时,通过安装取样盒且在存放槽的相互配合下,可以对不同高度不同层的抛光液进行收取检测,从而起到高效工作的作用。
4、优选的,所述固定板靠近密封盖一端的两侧均安装有定位块,且定位块的内部均安装有第一磁铁,所述密封盖靠近固定板一端的两侧均设置有定位槽,且定位槽的底端均安装有第二磁铁,所述定位块均与定位槽相连接,所述第一磁铁均与第二磁铁相连接。
5、优选的,所述通槽的顶端安装有密封块,所述固定板底端的拉杆的外侧安装有密封环,且密封环的外侧设置上有密封槽,所述密封槽与密封块相连接。
6、优选的,所述拉杆的两侧均安装有导向块,所述通槽两侧的密封盖的内部均设置有导向槽,且导向槽均与导向块相连接。
7、优选的,所述导向槽的宽度均与导向块的宽度相等,所述导向槽与导向块均关于拉杆的中轴线呈对称设置。
8、优选的,所述定位块的大小均与定位槽的大小相等,所述定位块分布在固定板的两侧。
9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该硅片抛光液制备用取样装置实现了能够分层取样的功能;
10、通过安装取样盒且在存放槽的相互配合下,可以对不同高度不同层的抛光液进行收取检测,从而起到高效工作的作用,同时通过安装盖板,可以防止抛光液在取出的过程中出现漏出或者与其他层混合的现象,以影响后续检测的结果,给工作人员带来不便,通过设置刻度表,可以方便工作人员对不同高度的抛光液进行取样,以提高后续检测数据的精确性;
11、通过导向块和导向槽之间的活动连接,可以对拉杆的活动方向进行导向限位,防止取样盒在放入和取出的过程中,出现晃动的现象,从而影响取样的质量,同时通过在密封环、密封槽以及密封块的相互配合下,可以起到密封性能,以防止空气中的灰尘从通槽处进入至取样管的内部,从而影响硅片抛光液的纯度。
1.一种硅片抛光液制备用取样装置,包括取样管(3),其特征在于:所述取样管(3)的顶端安装有密封盖(2),且密封盖(2)的内部设置有通槽(18),所述密封盖(2)的顶端安装有固定板(9),且固定板(9)的顶端安装有拉环(1),所述固定板(9)的底端安装有拉杆(6),且拉杆(6)的底端安装有取样盒(4),所述取样盒(4)的内部均匀设置有存放槽(5),所述取样盒(4)的一端安装有盖板(13),且盖板(13)的顶端安装有螺纹杆(12),所述螺纹杆(12)的顶端安装有手轮(10),所述固定板(9)的内部设置有螺纹槽(11),所述螺纹杆(12)竖向贯穿于螺纹槽(11)的内部,所述取样管(3)的一端安装有刻度表(22)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液制备用取样装置,其特征在于:所述固定板(9)靠近密封盖(2)一端的两侧均安装有定位块(14),且定位块(14)的内部均安装有第一磁铁(16),所述密封盖(2)靠近固定板(9)一端的两侧均设置有定位槽(15),且定位槽(15)的底端均安装有第二磁铁(17),所述定位块(14)均与定位槽(15)相连接,所述第一磁铁(16)均与第二磁铁(17)相连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液制备用取样装置,其特征在于:所述通槽(18)的顶端安装有密封块(21),所述固定板(9)底端的拉杆(6)的外侧安装有密封环(19),且密封环(19)的外侧设置上有密封槽(20),所述密封槽(20)与密封块(21)相连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液制备用取样装置,其特征在于:所述拉杆(6)的两侧均安装有导向块(7),所述通槽(18)两侧的密封盖(2)的内部均设置有导向槽(8),且导向槽(8)均与导向块(7)相连接。
5.根据权利要求4所述的一种硅片抛光液制备用取样装置,其特征在于:所述导向槽(8)的宽度均与导向块(7)的宽度相等,所述导向槽(8)与导向块(7)均关于拉杆(6)的中轴线呈对称设置。
6.根据权利要求2所述的一种硅片抛光液制备用取样装置,其特征在于:所述定位块(14)的大小均与定位槽(15)的大小相等,所述定位块(14)分布在固定板(9)的两侧。