一种高温高湿老化测试箱的制作方法

1.本发明涉及半导体测试领域，尤其涉及一种高温高湿老化测试箱。


背景技术：

2.在半导体芯片测试中，高温测试利于测试芯片的耐温性能，随着芯片在不同领域应用，芯片的防水性能也越来越重要，因此对芯片的耐湿或防水性能的测试也越来越重要。
3.由于在测试装置中设置有易遇水气短路的线路和电子电路，而给芯片的耐湿测试造成不便，从而导致现有的芯片耐湿测试装置测试的湿度不高。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种高温高湿老化测试箱，其设置有去湿线架组，能通过独立的烘箱和水箱，对芯片进行高温高湿测试。
5.本发明的目的采用以下技术方案实现：一种高温高湿老化测试箱，包括箱体、烘箱、水箱、老化组件、驱动组件、控制组件和去湿线架组，所述驱动组件、所述控制组件和所述去湿线架组均设置在所述箱体内，所述老化组件设置在所述烘箱内，所述老化组件包括老化架和设置在所述老化架上的老化板，所述控制组件包括工控机，所述驱动组件包括驱动板架和设置在所述驱动板架上的驱动板，所述老化板通过所述驱动板与所述工控机电性连接，其特征在于：所述水箱固定在所述烘箱的下端，所述水箱与所述烘箱连通，所述去湿线架组包括风机、漏斗罩、集风罩和集线罩，所述风机设置在所述箱体内，所述集线罩设置在所述集风罩的一侧，所述集线罩和所述集风罩均设置在所述漏斗罩的上端，所述集风罩和所述漏斗罩均与所述集线罩相通，所述风机的出风口与所述集风罩的进风口相对设置。
6.优选的，所述去湿线架组还包括u型罩脚，所述u型罩脚固定在所述漏斗罩的下端，所述去湿线架组通过所述u型罩脚与所述驱动组件固定连接。
7.优选的，所述集风罩为l型集风罩，所述集线罩上设置有多个用于线路进出的开孔。
8.优选的，所述驱动组件还包括保险丝架和设置在所述保险丝架上的保险丝板，所述保险丝架与所述驱动板架固定连接，所述保险丝板与所述驱动板电性连接。
9.优选的，所述驱动组件还包括第一导轨板、第二导轨板和两个连接板，所述第一导轨板和所述第二导轨板均设置在两个连接板之间，所述驱动板通过所述第一导轨板与所述驱动板架滑动连接，所述保险丝板通过所述第二导轨板与所述保险丝架滑动连接。
10.优选的，所述驱动组件还包括对接件，所述对接件包括两个连接座和支架，所述两个连接座通过所述支架固定连接，一个连接座与所述驱动板电性连接，另一个连接座与所述保险丝板电性连接。
11.优选的，所述控制组件还包括电源柜，所述电源柜设置在所述箱体内，所述电源柜内设置有多个1u电源，所述1u电源与所述保险丝板电性连接，所述工控机也设置在所述电
源柜内。
12.优选的，所述老化组件还包括固定在所述老化架上的第三导轨板和密封座，所述老化板通过所述第三导轨板与所述老化架滑动连接，所述密封座与所述老化板电性连接。
13.优选的，所述控制组件还包括辅助电源，所述辅助电源包括弱电隔板、强电隔板、保护罩、稳压电源和安全板，所述强电隔板设置在所述保护罩内，所述弱电隔板固定在所述保护罩上，所述稳压电源和安全板均设置在所述弱电隔板上，所述稳压电源分别与所述安全板和所述驱动板电性连接，所述强电隔板上设置有稳压器，所述稳压器与所述工控机电性连接。
14.优选的，所述高温高湿老化测试箱还包括底板和显示屏，所述箱体和所述烘箱均固定在所述底板上，所述显示屏固定在所述烘箱上，所述显示屏与所述老化板电性连接。
15.相比现有技术，本发明的有益效果在于：本技术公开了去湿线架组、独立的烘箱和水箱，所述去湿线架组能把线路上的湿气（水气）去除，而防止短路，所述烘箱能对芯片进行高温测试，所述水箱内的水气可以上升到所述烘箱内，而对半导体芯片进行高湿测试。
附图说明
16.图1为本发明的高温高湿老化测试箱的立体结构示意图；图2为本发明的去湿线架组去掉风机后的立体结构示意图；图3为本发明的驱动组件的立体结构示意图；图4为本发明的对接件的立体结构示意图；图5为本发明的老化组件的立体结构示意图；图6为本发明的电源柜的立体结构示意图；图7为本发明的辅助电源的立体结构示意图。
17.图中：100、高温高湿老化测试箱；10、箱体；11、底板；12、侧门；20、控制组件；21、电源柜；211、1u电源；22、工控机；23、辅助电源；231、稳压电源；232、弱电隔板；234、安全板；235、保护罩；236、强电隔板；30、烘箱；31、显示屏；40、水箱；50、去湿线架组；51、集风罩；52、集线罩；521、开孔；53、漏斗罩；54、u型罩脚；60、驱动组件；61、驱动板架；611、第一导轨板；62、保险丝架；621、第二导轨板；63、连接板；64、对接件；641、金手指；642、连接座；643、支架；70、老化组件；71、老化架；72、第三导轨板；73、密封座。
具体实施方式
18.为了能够更清楚地理解本发明的具体技术方案、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。
19.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.如图1-图5所示，本技术公开的一种高温高湿老化测试箱100，包括箱体10、烘箱30、水箱40、老化组件70、驱动组件60、控制组件20和去湿线架组50，所述驱动组件60、所述控制组件20和所述去湿线架组50均设置在所述箱体10内，所述老化组件70设置在所述烘箱30内，所述老化组件70包括老化架71和设置在所述老化架71上的老化板，所述控制组件70包括工控机22，所述驱动组件60包括驱动板架61和设置在所述驱动板架61上的驱动板，所述老化板通过所述驱动板与所述工控机22电性连接，所述去湿线架组50包括风机、漏斗罩53、集风罩51和集线罩52，所述风机设置在所述箱体10内，所述集线罩52设置在所述集风罩51的一侧，所述集线罩52和所述集风罩51均设置在所述漏斗罩53的上端，所述集风罩51和所述漏斗罩53均与所述集线罩52相通，所述风机的出风口与所述集风罩51的进风口相对设置；所述水箱40固定在所述烘箱30的下端，所述水箱40与所述烘箱30连通。
21.在上述实施方式中，所述高温高湿老化测试箱100包括去湿线架组50、独立的烘箱30和水箱40，所述去湿线架组50能把线路上的湿气（水气）去除，而防止短路，所述烘箱30能对芯片进行高温测试，所述水箱40内的水气可以上升到所述烘箱30内，而对半导体芯片进行高湿测试。
22.其中，所述控制组件20能发出测试指令给所述驱动组件60，所述驱动组件60能根据所述测试指令生成测试信号（包括温度信号或湿度信号）给所述老化组件70上的老化板，所述老化板再对半导体器件进行测试。所述烘箱30通过细孔与所述水箱40连通，所述烘箱30内可设置由所述控制组件20控制的加湿器，该加湿器内的水从所述水箱40内获得，该加湿器与所述控制组件20电性连接。所述烘箱30内的线路通过所述去湿线架组50上的集线罩52进入集风罩51，线路再从所述集风罩51或漏斗罩53与所述控制组件20或驱动组件60电性连接。所述风机对所述集风罩51内的线路进行去湿，去湿时所产生的细水珠可以顺着所述漏斗罩53流出或者流入所述水箱40。
23.如图2所示，优选的，所述去湿线架组50还包括u型罩脚54，所述u型罩脚54固定在所述漏斗罩53的下端，所述去湿线架组50通过所述u型罩脚54与所述驱动组件60固定连接。所述集风罩51为l型集风罩51，所述集线罩51上设置有多个用于线路进出的开孔521。所述u型罩脚54更利于排水，所述去湿线架组50与所述驱动板架51固定连接。所述l型集风罩51更利于与所述漏斗罩53连通，所述开孔521利于线路的进出。
24.如图3-图4所示，在一种优选的实施方式中，所述驱动组件60还包括第一导轨板611、第二导轨板621、两个连接板63、对接件64、保险丝架62和设置在所述保险丝架62上的保险丝板，所述保险丝架62与所述驱动板架61固定连接，所述保险丝板与所述驱动板电性连接。所述第一导轨板611和所述第二导轨板621均设置在两个连接板63之间，所述驱动板通过所述第一导轨板611与所述驱动板架61滑动连接，所述保险丝板通过所述第二导轨板621与所述保险丝架62滑动连接。所述对接件64包括两个连接座642和支架643，所述两个连接座642通过所述支架643固定连接，一个连接座642与所述驱动板电性连接，另一个连接座642与所述保险丝板电性连接。
25.在上述实施方式中，所述驱动板通过所述第一导轨板611与所述驱动板架61滑动连接，所述保险丝板通过所述第二导轨板621与所述保险丝架62滑动连接，所述连接板63呈l型，所述去湿线架组50设置在l型连接板63的缺口处，两个连接板63分别设置在所述保险丝架62和所述驱动板架61的上下端。所述对接件64利于所述驱动板与所述保险丝板的电性
连接，所述支架643呈棱形且中空，利于散热和调整方向。由于所述烘箱30内的湿气较大，容易出现短路，因此在所述驱动组件60上设置保险丝板。其中，所述保险丝板与所述老化板一一电性连接，所述保险丝板上设置有多个保险丝，每个保险丝可与所述老化板上的待测半导体（芯片）一一电性连接，当连接某个待测芯片的线路出现短路，则与该待测芯片电性连接的保险丝熔断，而使该条线路断开，从而防止了整个线路因短路被烧坏。
26.如图5所示，在一种优选的实施方式中，所述老化组件70还包括固定在所述老化架71上的第三导轨板72和密封座73，所述老化板通过所述第三导轨板72与所述老化架71滑动连接，所述密封座73与所述老化板电性连接。所述高温高湿老化测试箱100还包括底板11和显示屏31，所述箱体10和所述烘箱30均固定在所述底板11上，所述显示屏31固定在所述烘箱30上，所述显示屏31与所述老化板电性连接。
27.在上述实施方式中，所述老化板通过所述密封座73与所述保险丝板电性连接，所述老化板与所述密封座73插接，所述老化板上设置有用于实现高温测试的加热丝，所述老化架71设置在所述烘箱的腔室内。所述显示屏31能显示测试信息，所述底板11的下端还设置有万向轮，所述箱体10还设置有侧门12和报警器，所述报警器与所述工控机22电性连接。
28.如图6-图7所示，在一种优选的实施方式中，所述控制组件20还包括电源柜21和辅助电源23，所述电源柜21设置在所述箱体10内，所述电源柜21内设置有多个1u电源211，所述1u电源211与所述保险丝板电性连接，所述工控机22也设置在所述电源柜21内。所述辅助电源23包括弱电隔板232、强电隔板236、保护罩235、稳压电源231和安全板234，所述强电隔板236设置在所述保护罩235内，所述弱电隔板232固定在所述保护罩235上，所述稳压电源231和安全板234均设置在所述弱电隔板232上，所述稳压电源231分别与所述安全板234和所述驱动板电性连接，所述强电隔板236上设置有稳压器，所述稳压器与所述工控机22电性连接。
29.在上述实施方式中，所述工控机22最优为pc机，所述1u电源211给所述驱动板提供直流电源，所述稳压电源231能给所述驱动板补充稳定的电压，所述弱电隔板232可防止所述稳压电源231短路，所述保护罩235有支撑和屏蔽电磁感应的作用，所述安全板234可安装保险丝和继电器等电子元件，所述强电隔板236能防止强电漏电烧坏电子元件，所述控制组件20还包括操作面板，所述操作面板与所述工控机22电性连接，所述操作面板上设置有触摸屏和按钮。
30.综述，本高温高湿老化测试箱100通过所述去湿线架组50把线路上的湿气（水气）去除，而防止短路，所述烘箱30能对待测芯片进行高温测试，所述水箱40内的水气可以上升到所述烘箱30内，而对待测芯片进行高湿测试。
31.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种高温高湿老化测试箱，包括箱体、烘箱、水箱、老化组件、驱动组件、控制组件和去湿线架组，所述驱动组件、所述控制组件和所述去湿线架组均设置在所述箱体内，所述老化组件设置在所述烘箱内，所述老化组件包括老化架和设置在所述老化架上的老化板，所述控制组件包括工控机，所述驱动组件包括驱动板架和设置在所述驱动板架上的驱动板，所述老化板通过所述驱动板与所述工控机电性连接，其特征在于：所述水箱固定在所述烘箱的下端，所述水箱与所述烘箱连通，所述去湿线架组包括风机、漏斗罩、集风罩和集线罩，所述风机设置在所述箱体内，所述集线罩设置在所述集风罩的一侧，所述集线罩和所述集风罩均设置在所述漏斗罩的上端，所述集风罩和所述漏斗罩均与所述集线罩相通，所述风机的出风口与所述集风罩的进风口相对设置。2.根据权利要求1所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述去湿线架组还包括u型罩脚，所述u型罩脚固定在所述漏斗罩的下端，所述去湿线架组通过所述u型罩脚与所述驱动组件固定连接。3.根据权利要求2所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述集风罩为l型集风罩，所述集线罩上设置有多个用于线路进出的开孔。4.根据权利要求1所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述驱动组件还包括保险丝架和设置在所述保险丝架上的保险丝板，所述保险丝架与所述驱动板架固定连接，所述保险丝板与所述驱动板电性连接。5.根据权利要求4所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述驱动组件还包括第一导轨板、第二导轨板和两个连接板，所述第一导轨板和所述第二导轨板均设置在两个连接板之间，所述驱动板通过所述第一导轨板与所述驱动板架滑动连接，所述保险丝板通过所述第二导轨板与所述保险丝架滑动连接。6.根据权利要求5所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述驱动组件还包括对接件，所述对接件包括两个连接座和支架，所述两个连接座通过所述支架固定连接，一个连接座与所述驱动板电性连接，另一个连接座与所述保险丝板电性连接。7.根据权利要求6所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述控制组件还包括电源柜，所述电源柜设置在所述箱体内，所述电源柜内设置有多个1u电源，所述1u电源与所述保险丝板电性连接，所述工控机也设置在所述电源柜内。8.根据权利要求1所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述老化组件还包括固定在所述老化架上的第三导轨板和密封座，所述老化板通过所述第三导轨板与所述老化架滑动连接，所述密封座与所述老化板电性连接。9.根据权利要求1所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述控制组件还包括辅助电源，所述辅助电源包括弱电隔板、强电隔板、保护罩、稳压电源和安全板，所述强电隔板设置在所述保护罩内，所述弱电隔板固定在所述保护罩上，所述稳压电源和安全板均设置在所述弱电隔板上，所述稳压电源分别与所述安全板和所述驱动板电性连接，所述强电隔板上设置有稳压器，所述稳压器与所述工控机电性连接。10.根据权利要求1所述的高温高湿老化测试箱，其特征在于：所述高温高湿老化测试箱还包括底板和显示屏，所述箱体和所述烘箱均固定在所述底板上，所述显示屏固定在所述烘箱上，所述显示屏与所述老化板电性连接。

技术总结
本发明公开了一种高温高湿老化测试箱，包括箱体、烘箱、水箱、老化组件、驱动组件、控制组件和去湿线架组，驱动组件、控制组件和去湿线架组均设置在所述箱体内，老化组件设置在所述烘箱内，老化组件包括老化架和设置在所述老化架上的老化板，控制组件包括工控机，驱动组件包括驱动板架和设置在驱动板架上的驱动板，老化板通过驱动板与工控机电性连接，水箱固定在烘箱的下端，水箱与烘箱连通，去湿线架组包括风机、漏斗罩、集风罩和集线罩，集线罩设置在所述集风罩的一侧，集线罩和集风罩均设置在漏斗罩的上端，集风罩和漏斗罩均与所述集线罩相通，风机的出风口与集风罩的进风口相对设置。能通过独立的烘箱和水箱，对芯片进行高温高湿测试。测试。测试。


技术研发人员：曹佶 梅山赛 周泽文
受保护的技术使用者：浙江杭可仪器有限公司
技术研发日：2022.03.16
技术公布日：2022/4/15