一种晶圆倒角机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆倒角机。


背景技术：

2.随着国内半导体行业的发展，国产半导体加工设备也随之发展，但是目前所流行的半自动加工设备设计不够健全，设备产商只考虑倒加工需求，而忽视了加工过程中冷却水经过高速旋转的磨轮产生的产生包含硅粉的水雾，飘散在空中含有硅粉的水雾极易被员工吸入鼻腔，损伤身体，所以急需一种加工过程中在源头收集污染物的设备。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种能够将倒角过程中产生的硅粉水雾进行清理的晶圆倒角机。
4.为达到上述目的，本实用新型公开了一种晶圆倒角机，其包括机架、打磨机构、用于放置晶圆的旋转固定机构、三坐标移动平台、用于将晶圆在旋转固定机构上定位的若干定位部件和若干吸尘机构，所述打磨机构、三坐标移动平台、定位部件和吸尘机构设置在机架上，所述旋转固定机构设置在三坐标移动平台上；所述吸尘机构靠近打磨机构设置。
5.优选地，所述旋转固定机构包括固定在三坐标移动平台上的第一电机以及与第一电机的传动轴连接的放置平台，所述放置平台上设有若干通气孔，所述通气孔通过气管连通外部真空泵系统。
6.优选地，所述定位部件包括定位挡板和调节螺杆，所述调节螺杆的一端与定位挡板连接，调节螺杆的另一端通过螺栓与机架连接。
7.优选地，所述定位部件还包括定位杆，所述定位杆压紧于定位挡板和机架之间。
8.优选地，所述定位部件的数量为两组，两块挡板相互垂直设置。
9.优选地，所述打磨机构包括固定在机架上的第二电机以及与第二电机的传动轴连接的打磨片。
10.优选地，所述三坐标移动平台包括固定在所述机架上的两组第一滑轨、与第一滑轨滑动连接的第一滑块、与第一滑块连接并推动第一滑块移动的第一电动螺杆、固定在第一滑块上的两组第二滑轨、与第二滑轨滑动连接的第二滑块、与第二滑块连接并推动第二滑块移动的第二电动螺杆以及固定在第二滑块上的电动气缸；所述第一滑块的移动方向为x轴方向，所述第二滑块的移动方向为y轴方向，所述电动气缸的动作方向为z轴方向；所述旋转固定机构设置在电动气缸的活动杆上。
11.本实用新型具有以下有益效果：
12.1、本实用新型通过旋转固定机构和定位部件配合将晶圆定位固定，通过旋转固定机构、三坐标移动平台和打磨机构配合将晶圆打磨出倒角，因为打磨机构固定，打磨晶圆边角时产生的硅粉水雾相对集中，通过吸尘机构将打磨产生的硅粉水雾收集，避免了硅粉水雾扩散污染环境以及被人体吸入，危害健康。本实用新型结构简单，控制方便，安全健康有
保障。
13.2、旋转定位机构通过制造真空负压将晶圆固定，避免了夹具容易对晶圆表面损伤的困扰。
14.3、定位部件通过调节螺杆固定，配合定位杆使用，可以快速地调整定位部件的位置行程，以适配不同规格的晶圆定位，使得本实用新型的实用性更强。
附图说明
15.图1为本实用新型的示意图。
16.图2为本实用新型另一视角的示意图。
17.图3为晶圆的示意图。
18.主要部件符号说明：
19.机架10；
20.第一电机21，放置平台22，通气孔221；
21.第一滑轨31，第一滑块32，第一电动螺杆33，第二滑轨34，第二滑块35，第二电动螺杆36，电动气缸37；
22.定位挡板41，调节螺杆42，定位杆43；
23.第二电机51，打磨片52；
24.吸尘机构60；
25.晶圆70。
具体实施方式
26.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。
27.如图1～2所示，本实用新型公开了一种晶圆倒角机，其包括机架10、打磨机构、旋转固定机构、三坐标移动平台、吸尘机构60和两组定位部件。打磨机构、三坐标移动平台、定位部件和吸尘机构60设置在机架10上，旋转固定机构设置在三坐标移动平台上。吸尘机构60靠近打磨机构设置。吸尘机构60可以直接使用市场上能够买到的抽风机。
28.旋转固定机构包括第一电机21以及与第一电机21的传动轴连接的放置平台22，晶圆70放置在放置平台22上。在放置平台22上设有多个通气孔221，这些通气孔221通过气管连通外部真空泵系统，当晶圆70放置在放置平台22上后，打开外部真空泵系统，使得通气孔221内形成负压，进而将晶圆70稳固地吸附在放置平台22上。
29.三坐标移动平台包括固定在机架10上的两组第一滑轨31、与第一滑轨31滑动连接的第一滑块32、与第一滑块32连接并推动第一滑块32移动的第一电动螺杆33、固定在第一滑块32上的两组第二滑轨34、与第二滑轨34滑动连接的第二滑块35、与第二滑块35连接并推动第二滑块35移动的第二电动螺杆36以及固定在第二滑块35上的电动气缸37。第一滑块32的移动方向为x轴方向，第二滑块35的移动方向为y轴方向，电动气缸37的动作方向为z轴方向，旋转固定机构的第一电机21固定在电动气缸37的活动杆上。
30.定位部件包括定位挡板41、调节螺杆42和定位杆43，调节螺杆42的一端与定位挡板41固定连接，其另一端通过螺栓与机架10连接，定位杆43设置在定位挡板41和机架10之
间，通过将螺栓锁紧进而将定位杆43压紧，这样可以实现定位挡板41的快速安装和定位。作为优选，定位部件的数量为两组，两块定位挡板41相互垂直设置。通常晶圆70为圆形或者带缺口的圆形，分别对应图3所示中的a和b，对于圆形的晶圆70，晶圆70贴靠两定位挡板41即可完成定位，对于带缺口的晶圆70，将缺口的直边与任一定位挡板41贴合，然后弧边再与另一定位挡板41贴合即可。常态下，在三坐标移动平台的初始位置进行晶圆70的定位，而三坐标移动平台每个打磨周期结束后都应当复位到初始位置。
31.打磨机构包括固定在机架10上的第二电机51以及与第二电机51的传动轴连接的打磨片52。
32.本实用新型的工作原理：
33.根据不同规格的晶圆70设定好三坐标移动平台的移动行程以及旋转固定机构的旋转起始时间和转速，通过匹配的定位杆43调整好定位挡板41的位置。三坐标移动平台位于初始位置，将晶圆70定位固定，然后启动打磨机构，三坐标移动平台和旋转固定机构配合将晶圆70送至打磨机构进行倒角打磨。在打磨开始前，先行启动吸尘机构60，打磨过程产生的硅粉水雾被吸尘机构60吸走，不会扩散到周围空气中。因为打磨机构位置固定，打磨点固定，吸尘机构60固定设置即可。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆倒角机，其特征在于：包括机架、打磨机构、用于放置晶圆的旋转固定机构、三坐标移动平台、用于将晶圆在旋转固定机构上定位的若干定位部件和若干吸尘机构，所述打磨机构、三坐标移动平台、定位部件和吸尘机构设置在机架上，所述旋转固定机构设置在三坐标移动平台上；所述吸尘机构靠近打磨机构设置。2.根据权利要求1所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述旋转固定机构包括固定在三坐标移动平台上的第一电机以及与第一电机的传动轴连接的放置平台，所述放置平台上设有若干通气孔，所述通气孔通过气管连通外部真空泵系统。3.根据权利要求1所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述定位部件包括定位挡板和调节螺杆，所述调节螺杆的一端与定位挡板连接，调节螺杆的另一端通过螺栓与机架连接。4.根据权利要求3所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述定位部件还包括定位杆，所述定位杆压紧于定位挡板和机架之间。5.根据权利要求3所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述定位部件的数量为两组，两块挡板相互垂直设置。6.根据权利要求1所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述打磨机构包括固定在机架上的第二电机以及与第二电机的传动轴连接的打磨片。7.根据权利要求1所述的晶圆倒角机，其特征在于：所述三坐标移动平台包括固定在所述机架上的两组第一滑轨、与第一滑轨滑动连接的第一滑块、与第一滑块连接并推动第一滑块移动的第一电动螺杆、固定在第一滑块上的两组第二滑轨、与第二滑轨滑动连接的第二滑块、与第二滑块连接并推动第二滑块移动的第二电动螺杆以及固定在第二滑块上的电动气缸；所述第一滑块的移动方向为x轴方向，所述第二滑块的移动方向为y轴方向，所述电动气缸的动作方向为z轴方向；所述旋转固定机构设置在电动气缸的活动杆上。

技术总结
本实用新型涉及一种晶圆倒角机，其包括机架、打磨机构、用于放置晶圆的旋转固定机构、三坐标移动平台、用于将晶圆在旋转固定机构上定位的若干定位部件和若干吸尘机构，打磨机构、三坐标移动平台、定位部件和吸尘机构设置在机架上，旋转固定机构设置在三坐标移动平台上；吸尘机构靠近打磨机构设置。本实用新型通过旋转固定机构和定位部件配合将晶圆定位固定，通过旋转固定机构、三坐标移动平台和打磨机构配合将晶圆打磨出倒角，因为打磨机构固定，打磨晶圆边角时产生的硅粉水雾相对集中，通过吸尘机构将打磨产生的硅粉水雾收集，避免了硅粉水雾扩散污染环境以及被人体吸入，危害健康。本实用新型结构简单，控制方便，安全健康有保障。安全健康有保障。安全健康有保障。


技术研发人员：陈峰 洪章源
受保护的技术使用者：厦门陆远科技有限公司
技术研发日：2021.05.25
技术公布日：2021/11/21