用于电子束均匀出射的钛窗结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种钛窗结构，特别是一种用于电子束均匀出射的钛窗结构。


背景技术：

2.电子枪在辐照杀菌时射出电子束，并在真空室内扩展形成线性电子束带后，通过贴附在支撑窗开口上的薄膜引出至被辐照物质，有效地杀灭害虫、虫卵、病菌等，薄膜一般选用钛膜，由于钛膜两侧分别为真空端和大气端，因此钛膜需要用一个窗口式的支撑结构对其进行支撑，支撑结构不仅需要对钛膜进行稳定支撑，避免其变形过度，还关乎到到电子束出束的均匀性，而目前能兼顾到这两点的钛膜支撑结构还有待开发。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于，提供一种用于电子束均匀出射的钛窗结构。它具有兼顾了对钛膜的支撑强度和电子束出束的均匀性的优点。
4.本实用新型的技术方案：用于电子束均匀出射的钛窗结构，包括密封座，所述密封座向外连接有钛窗支撑板，所述钛窗支撑板外侧盖有钛膜，所述钛膜外侧设有与所述钛窗支撑板连接用于固定钛膜的压板，所述钛窗支撑板包括若干根等间距平行布置的支撑条，所述支撑条呈圆弧形，相邻两根支撑条之间形成一个圆弧状的扁孔。
5.与现有技术相比，本实用新型的有益效果体现在：通过在钛窗支撑板设计圆弧状的支撑条提升钛窗支撑板对钛膜的支撑作用，圆弧状的支撑条能给予钛膜较大的支撑范围，支撑效果好，而圆弧状的支撑条之间产生的圆弧状扁孔均匀分布，有助于电子束的均匀出射。另外，支撑条与扁孔配合后，对钛膜高压形变时产生的褶皱吸收率较高，在给予钛膜足够支撑的同时能使钛膜受形变的影响小。
6.前述的用于电子束均匀出射的钛窗结构中，每个所述扁孔内均设有一根连接相邻两根支撑条的加强筋，相邻两个扁孔内的加强筋错位布置。
7.前述的用于电子束均匀出射的钛窗结构中，所述钛窗支撑板外侧与钛膜相接触的面上设有一圈环形的凹槽，所述凹槽内埋有铝线。
8.前述的用于电子束均匀出射的钛窗结构中，所述密封座上设有可与圆柱体外侧壁贴合的凹陷部。
附图说明
9.图1是本实用新型的结构示意图；
10.图2是本实用新型的爆炸图；
11.图3是钛窗支撑板的结构示意图；
12.图4是图3中a处的局部放大图。
13.附图标记：50
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密封座，60
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钛窗支撑板，70
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钛膜，80
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压板，90
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铝线，601
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支撑条，602
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扁孔，603
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加强筋。
具体实施方式
14.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。
15.实施例：用于电子束均匀出射的钛窗结构，结构如图1至图4所示，包括密封座50，所述密封座50向外连接有钛窗支撑板60，所述钛窗支撑板60外侧盖有钛膜70，所述钛膜70外侧设有与所述钛窗支撑板60连接用于固定钛膜70的压板80，当本实用新型连接在电子枪的电子束出口时，钛膜70内侧为真空端，外侧为大气端，电子束经钛膜70引出至被辐照物体，钛窗支撑板60对钛膜70进行支撑。
16.作为优选，钛窗支撑板60包括若干根等间距平行布置的支撑条601，所述支撑条601呈圆弧形，自身的结构强度较高，相邻两根支撑条601之间形成一个圆弧状的扁孔602，该扁孔602设置是考虑到钛膜70高压形变褶皱的吸收率，在给予钛膜70足够支撑的同时能使钛膜70产生的形变影响最小，同时，圆弧状的扁孔602均匀分布也有助于电子束的均匀出射。
17.作为优选，每个扁孔602内均设有一根连接相邻两根支撑条601的加强筋603，相邻两个扁孔602内的加强筋603错位布置，从而进一步保障钛窗支撑板60的结构强度。
18.作为优选，钛窗支撑板60外侧与钛膜70相接触的面上设有一圈环形的凹槽，所述凹槽内埋有铝线90，进行金属密封，当钛膜70形变时，铝线90能作为封边紧紧被钛膜70吸附，从而提高钛膜70内侧电子枪真空端的密封性能。
19.作为优选，密封座50上设有可与圆柱体外侧壁贴合的凹陷部501，用于与电子枪的外壁形状适配，从而实现密封连接。
20.作为优选，密封座50与钛窗支撑板60之间采用螺钉连接，钛窗支撑板60与压板80之间采用螺钉连接。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.用于电子束均匀出射的钛窗结构，其特征在于：包括密封座(50)，所述密封座(50)向外连接有钛窗支撑板(60)，所述钛窗支撑板(60)外侧盖有钛膜(70)，所述钛膜(70)外侧设有与所述钛窗支撑板(60)连接用于固定钛膜(70)的压板(80)；所述钛窗支撑板(60)包括若干根等间距平行布置的支撑条(601)，所述支撑条(601)呈圆弧形，相邻两根支撑条(601)之间形成一个圆弧状的扁孔(602)。2.根据权利要求1所述的用于电子束均匀出射的钛窗结构，其特征在于：每个所述扁孔(602)内均设有一根连接相邻两根支撑条(601)的加强筋(603)，相邻两个扁孔(602)内的加强筋(603)错位布置。3.根据权利要求1所述的用于电子束均匀出射的钛窗结构，其特征在于：所述钛窗支撑板(60)外侧与钛膜(70)相接触的面上设有一圈环形的凹槽，所述凹槽内埋有铝线(90)。4.根据权利要求1所述的用于电子束均匀出射的钛窗结构，其特征在于：所述密封座(50)上设有可与圆柱体外侧壁贴合的凹陷部(501)。

技术总结
本实用新型公开了一种用于电子束均匀出射的钛窗结构，包括密封座，所述密封座向外连接有钛窗支撑板，所述钛窗支撑板外侧盖有钛膜，所述钛膜外侧设有与所述钛窗支撑板连接用于固定钛膜的压板，所述钛窗支撑板包括若干根等间距平行布置的支撑条，所述支撑条呈圆弧形，相邻两根支撑条之间形成一个圆弧状的扁孔，每个扁孔内均设有一根连接相邻两根支撑条的加强筋，相邻两个扁孔内的加强筋错位布置。本实用新型具有兼顾了对钛膜的支撑强度和电子束出束的均匀性的优点。子束出束的均匀性的优点。子束出束的均匀性的优点。


技术研发人员：杨天晗 王盛 徐凯文
受保护的技术使用者：宁波中物光电杀菌技术有限公司
技术研发日：2021.06.04
技术公布日：2021/11/21