一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶片生产设备，具体涉及一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构。


背景技术：

2.从近几年开始，led半导体晶片迅速向显示领域扩展，随着mini led和micro led晶片的出现和飞速发展，要求晶片分选机能够分选更小尺寸的晶片，势必要求高速旋转摆动的摆臂更加高速、稳定，且变形率小。目前的半导体晶片生产设备中的摆臂和摆臂校准机构，给生产更小尺寸晶片带来困难。现有的摆臂和摆臂校准机构结构复杂，并且摆臂上的管线较多不易整理，特别是气嘴连接的气管悬浮在摆臂上方，在摆臂移动时，气管也会随意摆动，虽然能够正常工作，但是气管摆动过于频繁后，气管与气嘴接口处容易脱落，后期维护维修频繁。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。
4.本实用新型为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
5.一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座通过螺栓连接在主摆臂支架的上端，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设置有第一管线走线槽和第二管线走线槽；
6.所述摆臂机构包括第一摆臂和第二摆臂，主摆臂支架的两侧分别连接有用于驱动第一摆臂升降的第一音圈电机组件和用于驱动第二摆臂升降的第二音圈电机组件；第一摆臂的端头部连接有第一吸嘴组件，第二摆臂的端头部连接有第二吸嘴组件；
7.所述管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设置有用于连接第一气管的第一气管定位组件，第二摆臂上设置有用于连接第二气管的第二气管定位组件，第一气管的一端与第一吸嘴组件连接，第二气管与第二吸嘴组件连接。
8.优选的，所述第一音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第一摆臂升降位置的第一光栅尺、第一读数头，第二音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第二摆臂升降位置的第二光栅尺、第二读数头。
9.优选的，所述第一摆臂包括第一内定位块、第一中定位块和第一外支臂，第一内定位块的内端通过第一摆臂定位销、第一摆臂锁紧螺丝与第一音圈电机组件连接；
10.第一内定位块的上端开设有第一轴向滑动槽，第一轴向滑动槽通过第一轴向固定螺丝与第一中定位块连接，第一轴向滑动槽内设置有调节第一中定位块轴向位置的第一轴向调节螺丝。
11.优选的，所述第一中定位块上开设有第一x轴方向滑动槽，第一外支臂的端部通过
第一x轴固定螺丝连接在第一x轴方向滑动槽内；第一中定位块的侧壁上设置在用于调节第一外支臂的第一x轴方向调节螺丝；
12.所述第一外支臂的外端部上开设有第一吸嘴定位夹槽，第一吸嘴组件连接在第一吸嘴定位夹槽内并通过第一夹槽锁紧螺栓固定。
13.优选的，所述第二摆臂包括第二内定位块、第二中定位块和第二外支臂，第二内定位块的内端通过第二摆臂定位销、第二摆臂锁紧螺丝与第二音圈电机组件连接；
14.第二内定位块的上端开设有第二轴向滑动槽，第二轴向滑动槽通过第二轴向固定螺丝与第二中定位块连接，第二轴向滑动槽内设置有调节第二中定位块轴向位置的第二轴向调节螺丝。
15.优选的，所述第二中定位块上开设有第二x轴方向滑动槽，第二外支臂的端部通过第二x轴固定螺丝连接在第二x轴方向滑动槽内；第二中定位块的侧壁上设置在用于调节第二外支臂的第二x轴方向调节螺丝；
16.所述第二外支臂的外端部上开设有第二吸嘴定位夹槽，第二吸嘴组件连接在第二吸嘴定位夹槽内并通过第二夹槽锁紧螺栓固定。
17.优选的，所述第一气管定位组件包括第一气管下定位块和第一上夹紧块，第一气管下定位块上设置有螺纹，第一上夹紧块的下端面开设有第一螺纹孔，第一上夹紧块通过第一螺纹孔连接在第一气管下定位块上，第一上夹紧块内开设有第一气管夹持槽口；
18.第二气管定位组件包括第二气管下定位块和第二上夹紧块，第二气管下定位块上设置有螺纹，第二上夹紧块的下端面开设有第二螺纹孔，第二上夹紧块通过第二螺纹孔连接在第二气管下定位块上，第二上夹紧块内开设有第二气管夹持槽口。
19.优选的，所述第一吸嘴组件和第二吸嘴组件均为通气式吸嘴组件，通气式吸嘴组件包括夹紧吸嘴管部，夹紧吸嘴管部上下两端分别连有吸嘴管顶部和橡胶吸嘴，吸嘴管顶部内设有吸嘴透明窗，吸嘴管顶部侧端连接有气管接头。
20.优选的，所述第一凹槽呈圆形凹槽状，第一管线走线槽和第二管线走线槽均呈条形凹槽状，第一管线走线槽内和第二管线走线槽内均设置有线路盖板，线路盖板呈长方形板状。
21.优选的，所述管线定位器呈圆形块状，管线定位器内开设有管线定位孔，管线定位孔内设置有橡胶环定位套。
22.本实用新型的有益效果是：
23.上述用于半导体晶片加工的摆臂校准结构在安装时，安装到半导体晶片加工设备的直驱旋转电机的转轴上，直驱旋转电机通过旋转电机连接座带动摆臂支座转动，摆臂支座转动后带动第一摆臂和第二摆臂转动。本实用新型中设置有新型的摆臂支座，摆臂支座不仅可方便的与直驱旋转电机连接，并且管线定位器可更好定位管线机构。音圈电机的电缆、读数头的电缆、吸嘴的气管经过摆臂支座后，从直驱旋转电机中央的轴孔穿过，在直驱旋转电机轴孔上端有电缆和气管的缓冲装置。
24.本实用新型中设置有新型的摆臂，摆臂的纵向和横向的调节更方便准确，并且在摆臂上设置有气管定位组件，气管定位组件为气管下定位块和上夹紧块的连接结构，上夹紧块可定位气管，并且上夹紧块螺旋连接在气管下定位块上，可更方便的调节气管夹持槽口的朝向。吸嘴机构包括夹紧吸嘴管部，夹紧吸嘴管部上下两端分别连有吸嘴管顶部和橡
胶吸嘴，吸嘴管顶部内设有吸嘴透明窗，吸嘴管顶部侧端连接有气管接头，吸嘴的透明窗采用透明树脂，吸嘴透明窗直接用树脂胶密封在吸嘴杆上，不使用吸嘴帽，吸嘴结构简单，密封性好，吸嘴孔图像清楚。
附图说明
25.为了清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是用于半导体晶片加工的摆臂校准结构整体结构示意图。
27.图2是摆臂支座整体结构示意图。
28.图3是第一摆臂整体结构示意图。
29.图4是通气式吸嘴组件整体结构示意图。
具体实施方式
30.本实用新型提供了一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
31.下面结合附图对本实用新型进行详细说明：
32.实施例1
33.结合图1至图4，一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座1、摆臂机构和管线机构，摆臂支座1包括主摆臂支架11、旋转电机连接座12和管线定位器13，旋转电机连接座12通过螺栓连接在主摆臂支架11的上端，旋转电机定位座12的上端中部开设有连接管线定位器13的第一凹槽14，第一凹槽14两侧分别设置有第一管线走线槽15和第二管线走线槽16。
34.摆臂机构包括第一摆臂2和第二摆臂3，主摆臂支架11的两侧分别连接有用于驱动第一摆臂2升降的第一音圈电机组件111和用于驱动第二摆臂升降3的第二音圈电机组件112；第一摆臂2的端头部连接有第一吸嘴组件4，第二摆臂3的端头部连接有第二吸嘴组件5。
35.所述管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管6和第二气管，第一摆臂2上设置有用于连接第一气管6的第一气管定位组件7，第二摆臂3上设置有用于连接第二气管的第二气管定位组件8，第一气管6的一端与第一吸嘴组件4连接，第二气管与第二吸嘴组件5连接。
36.第一音圈电机组件111一侧的主摆臂支架11上安装有检测第一摆臂2升降位置的第一光栅尺、第一读数头，第二音圈电机组件112一侧的主摆臂支架上安装有检测第二摆臂升降位置的第二光栅尺、第二读数头。
37.第一摆臂2包括第一内定位块21、第一中定位块22和第一外支臂23，第一内定位块21的内端通过第一摆臂定位销24、第一摆臂锁紧螺丝25与第一音圈电机组件111连接。
38.第一内定位块21的上端开设有第一轴向滑动槽211，第一轴向滑动槽211通过第一
轴向固定螺丝212与第一中定位块22连接，第一轴向滑动槽211内设置有调节第一中定位块22轴向位置的第一轴向调节螺丝213。
39.第一中定位块22上开设有第一x轴方向滑动槽221，第一外支臂23的端部通过第一x轴固定螺丝222连接在第一x轴方向滑动槽221内；第一中定位块22的侧壁上设置在用于调节第一外支臂23的第一x轴方向调节螺丝223。
40.所述第一外支臂23的外端部上开设有第一吸嘴定位夹槽231，第一吸嘴组件4连接在第一吸嘴定位夹槽231内并通过第一夹槽锁紧螺栓232固定。
41.第一摆臂2和第二摆臂3的结构相同，第二摆臂3包括第二内定位块、第二中定位块和第二外支臂，第二内定位块的内端通过第二摆臂定位销、第二摆臂锁紧螺丝与第二音圈电机组件连接。
42.第二内定位块的上端开设有第二轴向滑动槽，第二轴向滑动槽通过第二轴向固定螺丝与第二中定位块连接，第二轴向滑动槽内设置有调节第二中定位块轴向位置的第二轴向调节螺丝。
43.第二中定位块上开设有第二x轴方向滑动槽，第二外支臂的端部通过第二x轴固定螺丝连接在第二x轴方向滑动槽内；第二中定位块的侧壁上设置在用于调节第二外支臂的第二x轴方向调节螺丝。所述第二外支臂的外端部上开设有第二吸嘴定位夹槽，第二吸嘴组件连接在第二吸嘴定位夹槽内并通过第二夹槽锁紧螺栓固定。
44.第一气管定位组件7包括第一气管下定位块71和第一上夹紧块72，第一气管下定位块71上设置有螺纹，第一上夹紧块72的下端面开设有第一螺纹孔，第一上夹紧块72通过第一螺纹孔连接在第一气管下定位块71上，第一上夹紧块72内开设有第一气管夹持槽口73。
45.第二气管定位组件8包括第二气管下定位块81和第二上夹紧块82，第二气管下定位块71上设置有螺纹，第二上夹紧块82的下端面开设有第二螺纹孔，第二上夹紧块82通过第二螺纹孔连接在第二气管下定位块81上，第二上夹紧块82内开设有第二气管夹持槽口83。
46.第一吸嘴组件4和第二吸嘴组件5均为通气式吸嘴组件，通气式吸嘴组件包括夹紧吸嘴管部41，夹紧吸嘴管部41上下两端分别连有吸嘴管顶部42和橡胶吸嘴43，吸嘴管顶部42内设有吸嘴透明窗44，吸嘴管顶部42侧端连接有气管接头45。
47.第一凹槽14呈圆形凹槽状，第一管线走线槽15和第二管线走线槽16均呈条形凹槽状，第一管线走线槽15内和第二管线走线槽16内均设置有线路盖板，线路盖板呈长方形板状。
48.管线定位器13呈圆形块状，管线定位器13内开设有管线定位孔131，管线定位孔131内设置有橡胶环定位套。
49.实施例2
50.上述用于半导体晶片加工的摆臂校准结构在安装时，安装到半导体晶片加工设备的直驱旋转电机的转轴上，直驱旋转电机通过旋转电机连接座带动摆臂支座转动，摆臂支座转动后带动第一摆臂和第二摆臂转动。
51.本实用新型中设置有新型的摆臂支座，摆臂支座不仅可方便的与直驱旋转电机连接，并且管线定位器可更好定位管线机构。音圈电机的电缆、读数头的电缆、吸嘴的气管经
过摆臂支座后，从直驱旋转电机中央的轴孔穿过，在直驱旋转电机轴孔上端有电缆和气管的缓冲装置。
52.本实用新型中设置有新型的摆臂，摆臂的纵向和横向的调节更方便准确，并且在摆臂上设置有气管定位组件，气管定位组件为气管下定位块和上夹紧块的连接结构，上夹紧块可定位气管，并且上夹紧块螺旋连接在气管下定位块上，可更方便的调节气管夹持槽口的朝向。
53.吸嘴机构包括夹紧吸嘴管部41，夹紧吸嘴管部41上下两端分别连有吸嘴管顶部42和橡胶吸嘴43，吸嘴管顶部42内设有吸嘴透明窗44，吸嘴管顶部42侧端连接有气管接头45，吸嘴的透明窗采用透明树脂，吸嘴透明窗直接用树脂胶密封在吸嘴杆上，不使用吸嘴帽，吸嘴结构简单，密封性好，吸嘴孔图像清楚。
54.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
55.本实用新型中未述及的部分采用或借鉴已有技术即可实现。
56.当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。