一种石英炉管焊接用夹持设备的制作方法

专利检索2026-06-08  2


本技术涉及半导体器件生产设备领域,尤其涉及一种石英炉管焊接用夹持设备。


背景技术:

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,其常用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。石英炉管是扩散炉中的反应管道,主要作用是隔离工艺气体和半导体材料之间的接触,保证扩散过程的稳定性和可靠性。

2、在石英炉管的生产制造中,需要在石英炉管的尾部焊接尾管,目前多采用人工定位焊接方式,需要操作人员手持尾管放置到石英炉管的尾部并进行焊接,定位精度低,焊接效率低,批量产品的一致性差,需要进行改进。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种石英炉管焊接用夹持设备,提高石英炉管与尾管定位精度,提升工作效率和产品质量。

2、为实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

3、一种石英炉管焊接用夹持设备,包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构。

4、所述炉管支撑机构包括支撑架和滚轮,所述滚轮有四个,四个滚轮分别可转动地设于所述支撑架的顶部四角。

5、所述龙门架机构设于所述支撑架的一侧。

6、所述移动机构包括滑轨、滑块、齿条、移动板、驱动电机和齿轮,所述滑轨、所述齿条相互平行地设于所述龙门架机构的顶面,所述滑块可运动地设于所述滑轨上,所述移动板设于所述滑块上,所述驱动电机设于所述移动板的上方,所述齿轮设于所述移动板的下方,所述驱动电机的输出轴与所述齿轮连接,所述齿轮与所述齿条相啮合。

7、所述尾管夹持机构包括伺服电缸、升降板、连接杆和夹具,所述伺服电缸沿竖直方向设于所述移动板上,所述升降板与所述伺服电缸的活塞杆连接,所述连接杆设于所述升降板的下方,所述夹具可拆卸地设于所述连接杆的底端,所述夹具上设有尾管夹持槽。

8、优选地,所述移动机构还包括光电传感器和感应片,所述光电传感器设于所述齿条的两端,所述感应片设于所述移动板的底部两侧。

9、优选地,所述尾管夹持机构还包括直线轴承和导向轴,所述直线轴承设于所述移动板上,所述导向轴的下端与所述升降板连接,所述导向轴的上端穿过所述直线轴承。

10、优选地,所述直线轴承有两个,两个直线轴承分别位于所述伺服电缸的两侧,每个直线轴承内对应穿设有一根导向轴。

11、优选地,所述移动机构还包括减速机,所述减速机设于所述驱动电机与所述齿轮之间。

12、优选地,所述滑轨有两条,两条滑轨平行设置,两条滑轨上均设有所述滑块,所述移动板与两个滑块固定连接,所述齿条设于两条滑轨之间。

13、优选地,所述龙门架机构包括横梁、侧杆、底杆和加强杆,所述侧杆分别设于所述横梁的两侧,所述底杆设于所述侧杆的底部,所述加强杆与所述侧杆、所述底杆形成三角形支撑结构。

14、优选地,所述支撑架的底部以及所述底杆的底部均设有高度可调节的带孔脚杯。

15、优选地,所述石英炉管焊接用夹持设备还包括电控柜,所述电控柜内部设有控制机构,所述控制机构与所述移动机构、所述尾管夹持机构中的电气器件电连接。

16、优选地,所述连接杆的底端设有第一销孔,所述第一销孔沿所述连接杆的径向设置;所述夹具上设有定位槽,所述定位槽的结构与所述连接杆的底端结构相匹配,所述定位槽的周围设有第二销孔,所述连接杆的底端插入所述定位槽内,所述连接杆的底端通过快拆插销与所述夹具可拆卸地连接,所述快拆插销的结构与所述第一销孔、所述第二销孔的结构相匹配。

17、与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:本实用新型的石英炉管焊接用夹持设备中,炉管支撑机构用于支撑炉管,滚轮的设置使得炉管可转动,尾管夹持机构可稳定夹持尾管并带动尾管上下运动,移动机构可带动尾管左右运动,从而使尾管运动至炉管尾部精确位置,以便于焊接操作;此设备能够实现稳定有效的夹持作用及精确定位功能,能够提高工作效率,提升产品质量。



技术特征:

1.一种石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构;

2.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述移动机构还包括光电传感器和感应片,所述光电传感器设于所述齿条的两端,所述感应片设于所述移动板的底部两侧。

3.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述尾管夹持机构还包括直线轴承和导向轴,所述直线轴承设于所述移动板上,所述导向轴的下端与所述升降板连接,所述导向轴的上端穿过所述直线轴承。

4.如权利要求3所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述直线轴承有两个,两个直线轴承分别位于所述伺服电缸的两侧,每个直线轴承内对应穿设有一根导向轴。

5.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述移动机构还包括减速机,所述减速机设于所述驱动电机与所述齿轮之间。

6.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述滑轨有两条,两条滑轨平行设置,两条滑轨上均设有所述滑块,所述移动板与两个滑块固定连接,所述齿条设于两条滑轨之间。

7.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述龙门架机构包括横梁、侧杆、底杆和加强杆,所述侧杆分别设于所述横梁的两侧,所述底杆设于所述侧杆的底部,所述加强杆与所述侧杆、所述底杆形成三角形支撑结构。

8.如权利要求7所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述支撑架的底部以及所述底杆的底部均设有高度可调节的带孔脚杯。

9.如权利要求1-8中任意一项所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述石英炉管焊接用夹持设备还包括电控柜,所述电控柜内部设有控制机构,所述控制机构与所述移动机构、所述尾管夹持机构中的电气器件电连接。

10.如权利要求1-8中任意一项所述的石英炉管焊接用夹持设备,其特征在于:所述连接杆的底端设有第一销孔,所述第一销孔沿所述连接杆的径向设置;所述夹具上设有定位槽,所述定位槽的结构与所述连接杆的底端结构相匹配,所述定位槽的周围设有第二销孔,所述连接杆的底端插入所述定位槽内,所述连接杆的底端通过快拆插销与所述夹具可拆卸地连接,所述快拆插销的结构与所述第一销孔、所述第二销孔的结构相匹配。


技术总结
本技术提供一种石英炉管焊接用夹持设备,其包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构,炉管支撑机构包括支撑架和滚轮,滚轮设于支撑架的顶部四角;龙门架机构设于支撑架的一侧,移动机构包括滑轨、滑块、齿条、移动板、驱动电机和齿轮,移动板设于滑块上,齿轮与齿条相啮合;尾管夹持机构包括伺服电缸、升降板、连接杆和夹具。炉管支撑机构用于支撑炉管,滚轮的设置使得炉管可转动,尾管夹持机构可稳定夹持尾管并带动尾管上下运动,移动机构可带动尾管左右运动,从而使尾管运动至炉管尾部精确位置,以便于焊接操作;此设备能够实现稳定有效的夹持作用及精确定位功能,能够提高工作效率,提升产品质量,且适配不同尺寸的炉管。

技术研发人员:葛佳鑫
受保护的技术使用者:江苏沃宏装备有限公司
技术研发日:20231103
技术公布日:2024/5/29
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